[發明專利]基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法及透明天線

有效

• 申請號: 202110702327.3
• 申請日: 2021-06-21
• 公開（公告）號: CN113437504B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 胡承剛;程晉廣;史浩飛;張恒;邵麗;周萌;王剛
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: H01Q1/38
• 分類號: H01Q1/38;H05K3/12
• 代理公司: 北京元本知識產權代理事務所(普通合伙) 11308
• 代理人: 黎昌莉

1.一種基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，按照如下步驟進行透明天線的制備：

S1.低可視透明天線結構的設計；

S2.繪制低可視透明天線結構圖形，將低可視透明天線結構圖形出到菲林片上制作菲林掩膜版；

S3.對透明導電膜和感光干膜進行預定尺寸的裁切以及前處理；

S4.透明導電膜表面貼上感光干膜，將貼好感光干膜的導電薄膜曝光；貼好感光干膜的透明導電膜置于曝光區的平面上，然后蓋上制作好的菲林掩膜版并壓平，使菲林掩膜版與感光干膜充分接觸，采用紙膠帶將菲林掩膜版固定于曝光區平面上，然后打開曝光機進行曝光，曝光過程中光垂直打到菲林掩膜版上；

S5.顯影露出透明天線的結構圖案；

S6.通過刻蝕液刻蝕出透明天線的形狀；

S7.去除透明導電膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明導電膜；

S8.將得到的透明導電膜貼在透明板材上；

S9.對透明板材進行裁切，得到所需透明天線；

S10.將透明天線接上射頻接頭或射頻線纜；

所述步驟S5中采用碳酸鈉溶液對感光干膜進行顯影，碳酸鈉的質量分數為0.8-1.2％，所述步驟S5中顯影液溫度為32-35℃；

所述步驟S7中用氫氧化鈉溶液對感光干膜進行去膜，所述氫氧化鈉溶液的質量分數為2-5％，所述氫氧化鈉溶液溫度為50-55℃；

所述透明導電膜表面貼上感光干膜包括：

采用熱壓粘合的方式將感光干膜貼到透明導電膜上，熱壓粘合的條件為，熱壓輥溫度為80-110℃，壓合時壓力3-5kg/cm²；所述感光干膜具有三層結構，分別為PE層、光刻膠層、PET層將撕掉PE層的感光干膜放到透明導電膜上送進熱壓輥，拉住感光干膜后端，使其平穩進入熱壓輥，其中感光干膜前端要置于透明導電膜前端后0.5-1cm以防止透明導電膜和感光干膜卷進熱壓輥。

2.根據權利要求1所述的基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，所述步驟S2中繪制低可視透明天線圖形結構的最細線條寬度不超過10μm。

3.根據權利要求1所述的基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，所述步驟S3中透明導電膜為透明ITO薄膜、透明石墨烯薄膜、透明金屬網格薄膜、透明銀納米線薄膜中的一種。

4.根據權利要求1所述的基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，所述步驟S4中曝光使用的光源為紫外光，波長范圍為365-420nm。

5.根據權利要求1所述的基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，所述步驟S6中采用刻蝕溶液對透明導電膜進行刻蝕，刻蝕溶液根據透明導電薄膜的導電材質進行選型。

6.根據權利要求1所述的基于菲林光刻工藝的透明天線制備方法，其特征在于，所述步驟S3-S8在黃光區下完成。

7.采用如權利要求1～6任一項所述的方法制備得到的透明天線。