[發明專利]一種離面檢測陀螺儀

在審

• 申請號: 202110697584.2
• 申請日: 2021-06-23
• 公開（公告）號: CN113375653A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 丁希聰;凌方舟;蔣樂躍;金羊華
• 申請（專利權）人: 美新半導體（天津）有限公司
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 蘇州簡理知識產權代理有限公司 32371
• 代理人: 龐聰雅

1.一種離面檢測陀螺儀，其特征在于，其包括：

左框架結構，其位于中心點A的左側，其內定義有第一空間，所述左框架結構能夠沿X軸進行諧振運動；

右框架結構，其位于所述中心點A的右側，其內定義有第二空間，所述右框架結構與所述左框架結構平行且間隔預定距離，其能夠沿X軸進行與所述左框架結構反向的諧振運動；

左移動質量塊，其位于所述左框架結構的第一空間內，其通過第一傾斜撓性梁與所述左框架結構相連；

左敏感質量塊，其位于所述左框架結構的第一空間內，其通過第一敏感撓性梁與所述左移動質量塊相連；

右移動質量塊，其位于所述右框架結構的第二空間內，其通過第二傾斜撓性梁與所述右框架結構相連；

右敏感質量塊，其位于所述右框架結構的第二空間內，其通過第二敏感撓性梁與所述右移動質量塊相連。

2.根據權利要求1所述的離面檢測陀螺儀，其特征在于，其還包括：

中心耦合梁錨點，其位于所述左框架和右框架結構之間；

中心耦合梁，其與所述中心耦合梁錨點相連，且所述中心耦合梁連接于所述左框架結構和右框架結構之間，所述中心耦合梁設置的促使所述左框架結構和右框架結構沿X軸反向運動，

其中，X軸和Y軸相互垂直并且定義了所述離面檢測陀螺儀所在的平面，Z軸垂直于X軸和Y軸所定義的平面，X軸沿左右方向，Y軸沿上下方向，坐標原點為所述中心點A。

3.根據權利要求2所述的離面檢測陀螺儀，其特征在于，其還包括：

左框架結構錨點；

左框架結構支撐梁，其連接于所述左框架結構錨點和所述左框架結構之間；

右框架結構錨點；

右框架結構支撐梁，其連接于所述右框架結構錨點和所述右框架結構之間；

分別設置于所述左框架結構的上下兩側的第一驅動電極組和第二驅動電極組；

分別設置于所述右框架結構的上下兩側的第三驅動電極組和第四驅動電極組；

通過在所述第一驅動電極組和第二驅動電極組上施加驅動電壓驅動所述左框架結構沿X軸進行諧振運動；

通過在所述第三驅動電極組和第四驅動電極組上施加驅動電壓驅動所述右驅動框架結構沿X軸進行與所述左框架結構反向的諧振運動。

4.根據權利要求3所述的離面檢測陀螺儀，其特征在于，

所述左框架結構錨點位于所述左框架結構的周圍，所述左框架結構支撐梁位于所述左框架結構的周圍，其中，每個左框架結構錨點通過對應的一個左框架結構支撐梁與所述左框架結構相連；

所述右框架結構錨點位于所述右框架結構的周圍，所述右框架結構支撐梁位于所述右框架結構的周圍，其中，每個右框架結構錨點通過對應的一個右框架結構支撐梁與所述右框架結構相連。

5.根據權利要求3所述的離面檢測陀螺儀，其特征在于，

所述第一驅動電極組、第二驅動電極組、第三驅動電極組和第四驅動電極組固定設置于基底上；

所述左框架結構和左框架結構支撐梁懸置于所述基底上方；所述右框架結構和右框架結構支撐梁懸置于所述基底上方；

所述左框架結構錨點固定設置于基底上；所述右框架結構錨點固定設置于基底上；

所述左移動質量塊、右移動質量塊、左敏感質量塊和右敏感質量塊懸置于所述基底上方；

所述第一傾斜撓性梁、第二傾斜撓性梁、第一敏感撓性梁和第二敏感撓性梁懸置于所述基底上方；

所述中心耦合梁錨點固定設置于所述基底上；

中心耦合梁懸置于所述基底上方。