[發明專利]顯示面板及其制備方法有效
| 申請號: | 202110696573.2 | 申請日: | 2021-06-23 |
| 公開(公告)號: | CN113437236B | 公開(公告)日: | 2023-09-01 |
| 發明(設計)人: | 王明;仵康康;倪柳松;趙策 | 申請(專利權)人: | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H10K50/805 | 分類號: | H10K50/805;H10K71/00;H10K59/12 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;曹娜 |
| 地址: | 230012 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 面板 及其 制備 方法 | ||
1.一種顯示面板,其特征在于,包括:
襯底基板;
位于所述襯底基板上的薄膜晶體管陣列;
覆蓋所述薄膜晶體管陣列的有機材料層;
制作于所述有機材料層上的第一電極;
其中,所述第一電極采用氧化銦錫材料制成,且所述第一電極包括層疊的第一電極子層和第二電極子層;
所述第一電極子層和所述第二電極子層的厚度相等,且分別形成為面狀層;
所述有機材料層為制作于薄膜晶體管陣列上的平坦層。
2.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,所述第一電極子層上形成有中空區域,所述第二電極子層包括填充在所述中空區域內的第一部分,以及位于所述第一電極子層上方的第二部分。
3.根據權利要求2所述的顯示面板,其特征在于,所述中空區域呈長條型,且所述第一電極子層上設置有多個相互平行的所述中空區域。
4.根據權利要求1所述的顯示面板,其特征在于,所述顯示面板還包括位于所述第一電極遠離所述襯底基板的一側的發光層和第二電極,其中所述第一電極為陽極,所述第二電極為陰極。
5.一種如權利要求1至4任一項所述顯示面板的制備方法,其特征在于,所述方法包括:
提供襯底基板;
在所述襯底基板上制作薄膜晶體管陣列;
在所述薄膜晶體管陣列上制作所述有機材料層;
在所述有機材料層上采用氧化銦錫材料制作所述第一電極子層;
在所述第一電極子層上采用與所述第一電極子層的氧化銦錫材料相同的材料制作第二電極子層,所述第一電極子層和所述第二電極子層相組合形成為第一電極層;
通過構圖工藝,在所述第一電極層上制成多個相分離的所述第一電極。
6.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,在所述有機材料層上采用氧化銦錫材料制作所述第一電極子層,包括:
在所述有機材料層上沉積氧化銦錫材料,制成氧化銦錫材料層;
在所制成的氧化銦錫材料層上采用構圖工藝制作預設圖形的中空區域,形成第一電極子層;
其中,在所述第一電極子層上采用與所述第一電極子層的氧化銦錫材料相同的材料制作第二電極子層,包括:
在形成有預設圖形的中空區域的第一電極子層上沉積與所述第一電極子層的氧化銦錫材料相同的材料,制成所述第二電極子層。
7.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,在所述有機材料層上采用氧化銦錫材料制作所述第一電極子層,包括:
在所述有機材料層上沉積第一厚度的氧化銦錫材料,制成所述第一電極子層;
在所述第一電極子層上采用與所述第一電極子層的氧化銦錫材料相同的材料制作第二電極子層,包括:
在所述第一電極子層上沉積第二厚度的與所述第一電極子層的氧化銦錫材料相同的材料,制成所述第二電極子層。
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