[發明專利]固態成像裝置及電子裝置

在審

• 申請號: 202110694549.5
• 申請日: 2016-02-12
• 公開（公告）號: CN113437103A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 田舎中博士;秋山健太郎;坂野賴人;大井上昂志;萩本賢哉;松村勇佑;佐藤尚之;宮波勇樹;上田洋一;松本良輔
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H04N5/359;H04N5/374
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李晗;曹正建

1.一種固態圖像感測裝置，包括：

光電轉換單元；

電荷保持單元，用于保持從所述光電轉換單元轉移的電荷；

第一轉移晶體管，用于將來自所述光電轉換單元的電荷轉移到所述電荷保持單元；和

遮光部，包括第一遮光部和第二遮光部，

其中所述第一遮光部布置在與作為所述光電轉換單元的光接收表面的第一表面相對的第二表面和所述電荷保持單元之間并覆蓋所述第二表面，且形成有第一開口，以及

所述第二遮光部包圍所述光電轉換單元的側表面。

2.根據權利要求1所述的固態圖像感測裝置，

其中所述第一遮光部的橫截面從與所述第二遮光部的連接部向所述第一開口逐漸收縮。

3.根據權利要求1所述的固態圖像感測裝置，還包括：

第三遮光部，用于在從形成所述第一轉移晶體管的裝置形成表面遠離所述第一遮光部的位置處至少覆蓋所述電荷保持單元的、與所述第一遮光部對置的表面相對的表面。

4.根據權利要求1所述的固態圖像感測裝置，

其中所述第一轉移晶體管的柵極電極包括平行于所述第一遮光部的第一電極部和垂直于所述第一遮光部并從更靠近所述電荷保持單元的所述第一遮光部經由所述第一開口向所述光電轉換單元延伸的第二電極部。

5.根據權利要求4所述的固態圖像感測裝置，還包括：

第四遮光部，該第四遮光部連接到所述第一遮光部并至少部分地布置成更靠近所述電荷保持單元而不是更靠近所述第一遮光部且平行于所述第二表面布置在與所述第二遮光部不同的位置處。

6.根據權利要求4所述的固態圖像感測裝置，

其中所述光電轉換單元形成在第一半導體基板上，

所述電荷保持單元形成在第二半導體基板上，

所述第一轉移晶體管形成在所述第一半導體基板和所述第二半導體基板之上，以及

所述第一半導體基板和所述第二半導體基板之間的接合界面形成在所述第一轉移晶體管的溝道中。

7.根據權利要求6所述的固態圖像感測裝置，

其中所述接合界面形成為更靠近所述轉移晶體管的漏極端而不是更靠近所述轉移晶體管的源極端。

8.根據權利要求6所述的固態圖像感測裝置，

其中所述第二遮光部由所述光電轉換單元的第二表面形成，

所述裝置還包括：

由所述光電轉換單元的第一表面形成并連接到所述第二遮光部的第五遮光部。

9.根據權利要求1所述的固態圖像感測裝置，

其中所述光電轉換單元、所述電荷保持單元和所述第一轉移晶體管由單晶硅制成。

10.一種電子裝置，包括根據權利要求1-9中任一項所述的固態圖像感測裝置。