[發明專利]真空鍍膜機

在審

• 申請號: 202110693607.2
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113493901A
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發明（設計）人: 鄭新源;戴銘志;牛晶華;程爽;張莉;袁青松;劉園園
• 申請（專利權）人: 上海天馬有機發光顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/50
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 娜拉

1.一種真空鍍膜機，其特征在于，包括：

腔體；

支撐柱，設置在所述腔體內；

載盤，包括連接部件和載板，所述載板通過所述連接部件與所述支撐柱連接，以使所述載板可沿所述支撐柱的軸向轉動，所述載板呈環狀并具有第一鏤空部，所述載板沿其自身周向分布有多個基板承載區；

晶振系統，包括至少一個第一晶振，所述第一晶振位于所述第一鏤空部并靠近所述基板承載區設置。

2.如權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述連接部件包括：

連接板，連接于所述支撐柱，所述連接板與所述載板沿支撐柱的軸向間隔設置；

側板，所述側板的一端與所述連接板連接，所述側板的另一端與所述載板連接。

3.如權利要求2所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述連接板上開設有多個第一通孔，各所述基板承載區位于所述第一通孔沿所述支撐柱的軸向在所述載板上的正投影之內；

所述側板的一端與所述連接板的外邊緣連接，所述側板的另一端與所述載板的外邊緣連接。

4.如權利要求2所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述側板的一端與所述連接板的外邊緣連接，所述側板的另一端與所述載板朝向所述第一鏤空部的內邊緣連接。

5.如權利要求2所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述側板的一端與所述連接板的外邊緣連接，所述側板的另一端與所述載板的外邊緣連接，所述側板在所述基板承載區對應的位置處開設第二通孔。

6.如權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述晶振系統包括至少一個第二晶振，所述第二晶振設置在所述載板上。

7.如權利要求6所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述第二晶振位于相鄰的兩個所述基板承載區之間；

或者，所述第二晶振位于所述基板承載區背離所述第一鏤空部的一側。

8.如權利要求6所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述第一晶振和/或所述第二晶振通過線束連接機構與所述腔體內的線束電性連接，所述線束連接機構包括：

固定連接件，固定于所述支撐柱并與所述支撐柱同軸設置，所述固定連接件包括相互絕緣設置的第一正極導線和第一負極導線；

旋轉連接件，與所述第一晶振和/或所述第二晶振電性連接，所述旋轉連接件包括相互絕緣設置的第二正極導線和第二負極導線，

其中，所述旋轉連接件相對所述固定連接件繞所述支撐柱的軸向可轉動設置，且所述第一正極導線與所述第二正極導線連接，所述第一負極導線與所述第二負極導線連接。

9.如權利要求8所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述固定連接件的外表面呈球面，所述固定連接件包括沿所述支撐柱的軸向分布的第一半球面和第二半球面，所述第一半球面為所述第一負極導線，所述第二半球面為所述第一正極導線；

或者，所述固定連接件的外表面呈圓柱形，所述固定連接件包括沿所述支撐柱的軸向分布的第一圓弧面和第二圓弧面，所述第一圓弧面為所述第一負極導線，所述第二圓弧面為所述第一正極導線。

10.如權利要求9所述的真空鍍膜機，其特征在于，

所述第二負極導線與所述第二正極導線沿所述支撐柱的軸向分布；

或者，所述第二正極導線套設于所述第二負極導線之內，且至少部分所述第二負極導線的內壁面露出并與所述第一負極導線連接，所述第二正極導線在所述第二負極導線內與所述第一正極導線連接；

或者，所述第二負極導線套設于所述第二正極導線之內，且至少部分所述第二正極導線的內壁面露出并與所述第一正極導線連接，所述第二負極導線在所述第二正極導線內與所述第一負極導線連接。