[發明專利]一種基于長周期光柵的模斑轉換器有效
| 申請號: | 202110692353.2 | 申請日: | 2021-06-22 |
| 公開(公告)號: | CN113376743B | 公開(公告)日: | 2022-12-13 |
| 發明(設計)人: | 陳開鑫;鄧佳瑤;余夏蓉;王夢柯 | 申請(專利權)人: | 電子科技大學 |
| 主分類號: | G02B6/14 | 分類號: | G02B6/14;G02B6/124 |
| 代理公司: | 北京正華智誠專利代理事務所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 李林合 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 周期 光柵 轉換器 | ||
1.一種基于長周期光柵的模斑轉換器,其特征在于,從下到上依次包括:基底(1)、緩沖層(2)、高折射率波導芯(3)、長周期光柵(4)和低折射率上包層條形波導(5);
所述緩沖層(2)的一面與基底(1)固定連接,其另一相對面與高折射率波導芯(3)的一面固定連接;所述高折射率波導芯(3)的另一相對面用于刻蝕,得到長周期光柵(4);所述高折射率波導芯(3)的另一相對面和長周期光柵(4)均與低折射率上包層條形波導(5)固定連接;所述低折射率上包層條形波導(5)包裹長周期光柵(4),所述低折射率上包層條形波導(5)對準光纖;
所述低折射率上包層條形波導(5)用于將光纖激發出的基模光信號傳輸至長周期光柵(4),所述長周期光柵(4)用于將輸入的基模光信號耦合傳輸至高折射率波導芯(3),所述高折射率波導芯(3)用于將輸入的基模光信號穩定傳輸進入光子芯片。
2.根據權利要求1所述的基于長周期光柵的模斑轉換器,其特征在于,所述高折射率波導芯(3)的類型為脊型波導結構。
3.根據權利要求1所述的基于長周期光柵的模斑轉換器,其特征在于,所述刻蝕的工藝包括:電感耦合等離子體工藝。
4.根據權利要求1所述的基于長周期光柵的模斑轉換器,其特征在于,所述長周期光柵(4)包括:多個光刻柵體(41)和多個凹槽(42);所述光刻柵體(41)和凹槽(42)的數量相同,并交叉成周期排列,一個光刻柵體(41)和其相鄰的一個凹槽(42)構成一個周期。
5.根據權利要求4所述的基于長周期光柵的模斑轉換器,其特征在于,在模斑轉換器的輸入端輸入到低折射率上包層條形波導(5)中光信號經長周期光柵(4)耦合進入高折射率波導芯(3),成為該高折射率波導芯(3)支持的模式。
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