[發明專利]基于微納光纖多環諧振器的高靈敏度濕度傳感器

在審

• 申請號: 202110690061.5
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113433093A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 王鵬飛;易雅婷;江宇璇
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工程大學
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G02B6/255
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于微納光纖多環諧振器的高靈敏度濕度傳感器，其特征是，包括兩部分：

微納光纖多環諧振器的制備：

利用陶瓷微電偶加熱器，將其加熱至工作溫度(約1300℃)，再將單模光纖加熱至熔融狀態并拉制成微納光纖，錐腰直徑2.7μm，長度10mm；制備好一根微納光纖后，將其左端固定于光纖位移三維平臺，右端沿其軸逆時針旋轉180度，以確保光纖保持直的形狀沒有交叉；將光纖的右側部分移至左側，錐形部分將由于內部應力而相交；利用探針將相交的其中一根尾纖穿入相交產生的回路，形成由一個單環諧振器與一個彎曲的馬赫-曾德干涉組成的多環結構；

濕度傳感器的實現：

將制作好的微納光纖多環諧振器平放于低折射率MgF₂玻璃(約1.37)上，將除了馬赫-曾德干涉臂以外的部位全部滴上低折射率紫外膠(折射率約1.34)，包括拉錐光纖末端，并用紫外燈固化；配備濃度為1％的瓊脂糖凝膠溶液，均勻超聲并加熱后用注射器滴至馬赫-曾德干涉臂上，在室溫下晾干至形成均勻的薄膜；將制備好的濕度傳感器一側尾纖使用光纖焊接機與白光光源熔接在一起，另一側尾纖用光纖焊接機與光譜儀熔接在一起；開啟白光光源測量其輸出光譜。