[發明專利]一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統

在審

• 申請號: 202110689806.6
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113572460A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 游利兵;胡澤雄;方曉東;寸超;王宏偉;范軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: H03K17/0424
• 分類號: H03K17/0424
• 代理公司: 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118
• 代理人: 王挺

1.一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，包括：主控模塊(2)、細延時模塊(3)、第一時間間隔測量模塊(5)；

所述主控模塊(2)、第一時間間隔測量模塊(5)分別對外部觸發信號進行接收；

所述主控模塊(2)用于對延時時間進行分配，分為粗延時時間和細延時時間；

所述主控模塊(2)用于對外部觸發信號進行粗延時，得到粗延時信號，并將粗延時信號發送給細延時模塊(3)；

所述主控模塊(2)將其主時鐘信號發送給第一時間間隔測量模塊(5)；

所述第一時間間隔測量模塊(5)測量外部觸發信號與主控模塊(2)的主時鐘信號之間的相位抖動，得到相位抖動數據，將相位抖動數據通過主控模塊(2)發送給細延時模塊(3)；

所述細延時模塊(3)根據相位抖動數據對粗延時信號進行細延時，得到細延時信號。

2.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，還包括：第二時間間隔測量模塊(6)；

所述第二時間間隔測量模塊(6)對外部觸發信號進行接收；

所述細延時模塊(3)將細延時信號發送給第二時間間隔測量模塊(6)；

所述第二時間間隔測量模塊(6)測量外部觸發信號與細延時信號之間的時間間隔，得到實際延時時間，并將實際延時時間發送給主控模塊(2)；

所述主控模塊(2)將實際延時時間與設定延時時間進行比較，得到延時誤差，并根據該延時誤差調節下一次的粗延時時間和/或細延時時間。

3.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，還包括：光電轉換模塊(1)；

所述光電轉換模塊(1)接收外部觸發信號，用于對光信號形式的外部觸發信號轉換為電信號形式的外部觸發信號，并將電信號形式的外部觸發信號分別發送給主控模塊(2)、第一時間間隔測量模塊(5)。

4.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，還包括：電光轉換模塊(4)；

所述電光轉換模塊(4)與細延時模塊(3)相連接，用于對電信號形式的細延時信號轉換為光信號形式的細延時信號。

5.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，所述主控模塊(2)對外部觸發信號進行10ns步進的粗延時。

6.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，所述細延時模塊(3)對粗延時信號進行10ps步進的細延時。

7.根據權利要求1所述的一種用于準分子激光器的低抖動精確延時同步觸發系統，其特征在于，系統的工作過程如下所示：

S1，外部觸發信號進入系統，通過第一時間間隔測量模塊(5)對外部觸發信號與主控模塊(2)的主時鐘信號之間的相位抖動進行測量，即對外部觸發信號的上升沿與主控模塊(2)的主時鐘信號的上升沿之間的時間間隔進行測量，得到相位抖動數據即相位抖動的時間間隔；

S2，主控模塊(2)將設定延時時間減去該相位抖動的時間間隔，得到待延時的延時時間，主控模塊(2)根據該待延時的延時時間進行分配，分配粗延時時間和細延時時間；

S3，根據粗延時時間，利用主控模塊(2)內部的計數器對外部觸發信號進行粗延時，得到粗延時信號；

S4，根據細延時時間，利用細延時模塊(3)對粗延時信號進行細延時，得到細延時信號。