[發明專利]一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯

在審

• 申請號: 202110689569.3
• 申請日: 2021-06-22
• 公開（公告）號: CN113436953A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 史鑫堯;戴曉鵬;赫松齡;賀羽;張偉
• 申請（專利權）人: 無錫量子感知技術有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 杜丹盛

1.一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于，其包括：

杯蓋，其包括一厚度方向貫穿的入射孔；

杯體，其包括有一厚度方向內凹的內凹盲孔；

絕緣底托，其用于隔絕樣品臺和杯體；

所述杯蓋蓋裝于所述杯體的上表面，所述入射孔朝向所述內凹盲孔設置；

其還包括有一絕緣導線，所述絕緣導線的內層金屬芯一端連接所述杯體，所述絕緣導線的內層金屬芯的另一端用于連接高精度測電流裝置；

所述杯蓋和杯體均為導體材質，所述絕緣底托為絕緣材料。

2.如權利要求1所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯蓋為帶有第一厚度的第一圓柱體，所述杯體為帶有第二厚度的第二圓柱體，所述第二厚度大于第一厚度，所述第一圓柱體的直徑等于第二圓柱體的直徑。

3.如權利要求1所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯蓋和杯體均為黃銅材質，所述絕緣底托為ECTFE樹脂材料。

4.如權利要求1所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：其還包括有一石墨柱體，所述石墨柱體插裝于所述內凹盲孔內，所述石墨柱體的上表面為斜面，所述石墨柱體的上表面和杯體的上平面之間留有間距。

5.如權利要求4所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯體的底部設置有預留頂出孔，所述預留頂出孔的上部連通至所述內凹盲孔，所述預留頂出孔用于將石墨柱體頂出內凹盲孔。

6.如權利要求1所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述入射孔包括厚度方向的上部微孔、下部錐形口，所述錐形口的頂部連通微孔，所述錐形口的下部直徑和所述內凹盲孔的直徑相同，杯蓋蓋裝于所述杯體后、所述錐形口位于所述內凹盲孔的正上方布置。

7.如權利要求6所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯蓋的厚度方向下部對應于錐形口的底部區域設置有導向孔，所述導向孔的直徑和所述內凹盲孔的直徑相同。

8.如權利要求4所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述石墨柱體的外環壁緊貼所述內凹盲孔的內壁。

9.如權利要求1所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述絕緣底托包括支承托盤、支承腳，所述支承托盤的下部中心區域設置有下凸支承腳，所述支承托盤的上表面中心內凹形成圓柱凹槽，所述杯體嵌裝于所述圓柱凹槽內，且所述杯體的外壁貼合所述圓柱凹槽的內環壁布置。

10.如權利要求4所述的一種測量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其特征在于：所述石墨柱體的上表面的斜面朝向內層金屬芯連接所述杯體的位置布置。