[發(fā)明專利]一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110687750.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN113388817A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歐富眾合數(shù)字科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616
• 代理人: 范琳

1.一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于包括以下步驟：

1.1金屬表面預(yù)處理：對(duì)工件充分清洗，是提高附著力的前提；

1.2進(jìn)爐抽真空：將待鍍工件安裝在設(shè)備鍍膜室內(nèi)的轉(zhuǎn)盤上，對(duì)鍍膜室抽真空，真空達(dá)到6.6x10-3Pa，將鍍膜室真空排氣；

1.3洗靶及離子清洗：用離子對(duì)待鍍工件進(jìn)行清洗；

1.4鍍膜：在涂層用的金屬材料與處理爐之間進(jìn)行電弧放電，金屬材料會(huì)氣化為等離子態(tài)，將鍍膜元素離子化；

1.5冷卻出爐：將氮?dú)饣蚝庾⑷胩幚頎t中；

1.6品控管理：利用關(guān)設(shè)備檢查工件與涂層表面狀況。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.1中在進(jìn)行對(duì)待鍍工件表面預(yù)處理時(shí)，要經(jīng)過超聲波清洗、酸洗和漂洗三道工序。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：在經(jīng)過清洗、酸洗和漂洗三道工序后，要進(jìn)行烘干，溫度控制在100度左右，烘干時(shí)間為30分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.2中在進(jìn)行真空排氣時(shí)，鍍膜室內(nèi)的壓力大于真空條件的基礎(chǔ)壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.2中在進(jìn)行抽真空后，需要對(duì)待鍍工件加熱，加熱溫度在150度左右，加熱過后通入氬氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.3中用離子進(jìn)行清洗會(huì)一直持續(xù)整個(gè)鍍膜過程。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.4中在進(jìn)行鍍膜時(shí)在工件上施加負(fù)電壓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米石墨烯復(fù)合的金屬表面涂層的工藝，其特征在于：所述步驟1.5中冷卻出爐前需要關(guān)閉電弧電源和偏壓電源，接著關(guān)閉氣源和停轉(zhuǎn)架。