[發明專利]一種導流筒和拉晶爐有效
| 申請號: | 202110686468.0 | 申請日: | 2021-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN113403675B | 公開(公告)日: | 2022-08-02 |
| 發明(設計)人: | 陳凡;張鵬舉;張千千;郭超超 | 申請(專利權)人: | 西安奕斯偉硅片技術有限公司;西安奕斯偉材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 李斌棟;沈寒酉 |
| 地址: | 710065 陜西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 導流 拉晶爐 | ||
1.一種導流筒,其特征在于,所述導流筒包括:
由外導流筒上部和外導流筒下部于第一接合處接合形成的外導流筒;
與所述外導流筒同軸設置并連接的內導流筒;
與所述內導流筒在第二接合處接合且與所述外導流筒下部形成縫隙的導流筒套筒;
其中,第一接合處的空間尺寸經設置以避免多晶硅熔液飛濺填充而產生粘連;其中,
所述第一接合處的空間內設置一設定高度的墊塊以增加所述第一接合處的空間尺寸;其中,所述墊塊用于固定所述外導流筒上部和所述外導流筒下部之間的連接以避免所述外導流筒上部和所述外導流筒下部之間由于滑動而造成磨損。
2.根據權利要求1所述的導流筒,其特征在于,所述外導流筒上部、外導流筒下部以及所述導流筒套筒為一體結構以避免形成所述第一接合處和所述縫隙處。
3.根據權利要求1或2所述的導流筒,其特征在于,所述外導流筒上部頂端沿所述導流筒的徑向向外延伸處對向開設多對耳洞;其中,每對耳洞均勻地分布于所述外導流筒上部頂端的延伸處。
4.一種拉晶爐,其特征在于,所述拉晶爐包括權利要求1至3任一項所述的導流筒。
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