[發(fā)明專利]太陽能電池返工工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110684410.2 | 申請日: | 2021-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN113421946B | 公開(公告)日: | 2022-11-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 繆強;蔣紅彬;常宇峰;于亞春;劉小紅;曲凱;楊恒春;龐國峰 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州潞能能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215600 江蘇省蘇州市張家港市張*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 太陽能電池 返工 工藝 | ||
本發(fā)明公開了一種太陽能電池返工工藝,包括如下步驟:對鍍膜后返工片進行酸洗并干燥;將酸洗后的返工片與未鍍膜返工片一起在制絨工序進行二次清洗;對二次清洗后的返工片進行二次制絨;將二次制絨后的返工片按照常規(guī)工藝進行生產(chǎn)。本發(fā)明增加了二次清洗工藝,該工藝利用產(chǎn)線現(xiàn)有制絨工序設(shè)備進行生產(chǎn),不增加設(shè)備成本投入,工藝流程與原產(chǎn)線制絨工藝流程變更不多,可以利用產(chǎn)線原有藥液進行生產(chǎn),對產(chǎn)線輔料成本增加不多。而經(jīng)過二次清洗后的返工片,可以最大化的去除硅片上的氧化層、劃傷、臟污等殘留,消除二次制絨時對硅片表面絨面的影響,提高返工電池片的轉(zhuǎn)換效率、良率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種太陽能電池返工工藝。
背景技術(shù)
目前,單晶硅太陽能電池生產(chǎn)工藝已經(jīng)日趨成熟,可以實現(xiàn)標準化生產(chǎn),其主要工藝步驟如下:制絨→擴散→SE激光→刻蝕→后氧化→背面氧化鋁→背面氮化硅→正面氮化硅→背面激光開槽→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)→測試分選。其正常生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生一些不良片,主要包括一些制絨絨面不良、擴散方阻異常、激光圖形偏移、刻蝕藥液污染、鍍膜顏色異常等。該類不良片做成成品電池片,一般會是低轉(zhuǎn)換效率電池片,且外觀檢測、EL測試為不合格片,對產(chǎn)線整體良率、效率等造成重大影響,必須返工處理后再生產(chǎn),使其成為合格電池片。針對返工片的工藝處理方法,常規(guī)工藝處理流程如下:將鍍膜后返工片進行酸洗去膜、甩干集中放置后與未鍍膜返工片一起進行二次制絨再生產(chǎn)。
采用上述工藝處理返工片存在以下幾個缺陷:(1)電池片容易有劃傷、臟污等殘留;(2)電池片良率較低,影響產(chǎn)線整體良率;(3)電池片平均轉(zhuǎn)換效率相比正常電池片低,影響產(chǎn)線整體效率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種太陽能電池返工工藝,能夠有效提高返工片二次生產(chǎn)的轉(zhuǎn)換效率、良率,最終達到提升產(chǎn)線電池片整體效率、良率。
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是提供一種太陽能電池返工工藝,包括如下步驟:
對鍍膜后返工片進行酸洗并干燥;
將酸洗后的返工片與未鍍膜返工片一起在制絨工序進行二次清洗;
對二次清洗后的返工片進行二次制絨;
將二次制絨后的返工片按照常規(guī)工藝進行生產(chǎn)。
在本發(fā)明的一個實施例中,所述二次清洗包括:
(9)前清洗:使用含氫氧化鉀和雙氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(10)水洗:使用純水清洗所述返工片;
(11)后清洗:使用含氫氧化鉀和雙氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(12)水洗:使用純水清洗所述返工片;
(13)酸洗:使用含氫氟酸和鹽酸的混合溶液清洗所述返工片;
(14)水洗:使用純水清洗所述返工片;
(15)慢提拉:對所述返工片進行慢提拉脫水;
(16)烘干:將所述返工片烘干。
在本發(fā)明的一個實施例中,所述二次制絨包括:
(1)初拋:使用氫氧化鉀溶液清洗所述返工片;
(2)前清洗:使用含氫氧化鉀和雙氧水的混合溶液清洗所述返工片;
(3)水洗:使用純水清洗所述返工片;
(4)制絨:使用氫氧化鉀和制絨添加劑的混合溶液對所述返工片進行腐蝕處理,形成金字塔絨面;
(5)水洗:使用純水清洗所述返工片;
(6)后清洗:使用含氫氧化鉀和雙氧水的混合溶液清洗所述返工片;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





