[發明專利]一種鉿基鐵電存儲器及其制備方法有效
| 申請號： | 202110683895.3 | 申請日： | 2021-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN113437049B | 公開（公告）日： | 2022-10-11 |
| 發明（設計）人： | 朱顥;陳佩瑤;劉逸倫;曹園園;孫清清 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | H01L23/64 | 分類號： | H01L23/64;H01L27/11507;H01L21/02;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京得信知識產權代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鉿基鐵電 存儲器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鉿基鐵電存儲器，其特征在于，
包括多個鉿基鐵電存儲器單元，利用多個鉿基鐵電存儲器單元搭建邏輯電路，實現存算一體的功能，
其中，所述鉿基鐵電存儲器單元包括：
襯底；
底電極，形成在所述襯底上；
鉿基鐵電體，其為經退火后的鉿鋁氧薄膜，形成在所述底電極上，其中，鉿元素和鋁元素的生長循環比為34:1；
頂電極，形成在所述鉿鋁氧薄膜上。
2.根據權利要求1所述的鉿基鐵電存儲器，其特征在于，
所述底電極為Ti/Pt。
3.根據權利要求1所述的鉿基鐵電存儲器，其特征在于，
所述頂電極為TiN。
4.一種鉿基鐵電存儲器制備方法，其特征在于，
包括以下步驟：
在襯底上形成底電極；
在所述底電極上采用原子層沉積方法形成鉿鋁氧薄膜，鉿元素和鋁元素的生長循環比為34:1；
在所述鉿鋁氧薄膜上形成頂電極；
進行退火使所述鉿鋁氧薄膜結晶形成鐵電體獲得鉿基鐵電存儲器單元；
利用多個鉿基鐵電存儲器單元搭建邏輯電路，實現存算一體的功能。
5.根據權利要求4所述的鉿基鐵電存儲器制備方法，其特征在于，
所述底電極為Ti/Pt。
6.根據權利要求4所述的鉿基鐵電存儲器制備方法，其特征在于，
所述頂電極為TiN。
7.根據權利要求4所述的鉿基鐵電存儲器制備方法，其特征在于，
所述退火過程在氮氣氛圍下進行，溫度為500℃～800℃，時間為30s。
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