[發(fā)明專利]劃片藍(lán)膜檢查系統(tǒng)和檢查方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110682651.3
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113420578A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁萬春;徐晨
• 申請（專利權(quán)）人: 通富微電子股份有限公司
• 主分類號: G06K7/14
• 分類號: G06K7/14;G06K17/00
• 代理公司: 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

本公開提供一種劃片藍(lán)膜檢查系統(tǒng)和檢查方法。檢查系統(tǒng)包括承載臺、圖像獲取模塊和比對模塊，比對模塊與圖像獲取模塊電連接；承載臺，用于放置待檢查的劃片藍(lán)膜；圖像獲取模塊，用于分別獲取劃片藍(lán)膜的條碼標(biāo)識以及與劃片藍(lán)膜相對應(yīng)的圓片的刻號標(biāo)識；比對模塊，用于將條碼標(biāo)識與刻號標(biāo)識進行比對，并輸出比對結(jié)果。利用圖像獲取模塊獲取待檢查的劃片藍(lán)膜的條碼標(biāo)識以及對應(yīng)圓片的刻號標(biāo)識，可以有效杜絕人為讀取條碼標(biāo)識和刻號標(biāo)識出現(xiàn)錯誤的情況發(fā)生。比對模塊將獲取到的條碼標(biāo)識與刻號標(biāo)識進行比對，并輸出比對結(jié)果，可以準(zhǔn)確快速地將不一致的劃片藍(lán)膜檢出，提高劃片藍(lán)膜的檢查效率以及檢查良率，從而可以提高后續(xù)芯片加工良率，降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開屬于藍(lán)膜檢查技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種劃片藍(lán)膜檢查系統(tǒng)和檢查方法。

背景技術(shù)

目前，劃片藍(lán)膜貼膜后，將進行劃片動作。劃片過程將會導(dǎo)致圓片的刻號被損毀，不易自動讀取。因此，在劃片貼膜過程會加貼條碼，使用條碼作為劃片后的信息流轉(zhuǎn)。如何保證加貼的條碼和圓片的刻號一致，在此過程就非常重要。如果條碼和圓片的信息不一致，將導(dǎo)致芯片加工過程中，調(diào)取的電子圖譜錯誤，形成生產(chǎn)錯混料。

發(fā)明內(nèi)容

本公開旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種劃片藍(lán)膜檢查系統(tǒng)和檢查方法。

本公開一方面，提供一種劃片藍(lán)膜檢查系統(tǒng)，包括承載臺、圖像獲取模塊和比對模塊，所述比對模塊與所述圖像獲取模塊電連接；

所述承載臺，用于放置待檢查的劃片藍(lán)膜；

所述圖像獲取模塊，用于分別獲取所述劃片藍(lán)膜的條碼標(biāo)識以及與所述劃片藍(lán)膜相對應(yīng)的圓片的刻號標(biāo)識；

所述比對模塊，用于將所述條碼標(biāo)識與所述刻號標(biāo)識進行比對，并輸出比對結(jié)果。

在一些實施方式中，所述圖像獲取模塊包括條碼槍以及具有文字識別功能的攝像頭；

所述攝像頭設(shè)置在所述承載臺上方，用于獲取所述圓片的刻號標(biāo)識；

所述條碼槍設(shè)置在所述承載臺一側(cè)，用于獲取所述劃片藍(lán)膜的條碼標(biāo)識。

在一些實施方式中，還包括存儲模塊，所述存儲模塊分別與所述圖像獲取模塊以及所述比對模塊電連接；

所述存儲模塊，用于存儲所述條碼標(biāo)識、所述刻號標(biāo)識以及所述比對結(jié)果。

在一些實施方式中，所述比對結(jié)果包括比對結(jié)論和比對圖像。

在一些實施方式中，還包括報警模塊，所述報警模塊與所述比對模塊電連接；

所述比對模塊，具體還用于在所述條碼標(biāo)識與所述刻號標(biāo)識不一致時，控制所述報警模塊輸出報警信號。

本公開另一方面，提供一種劃片藍(lán)膜檢查方法，所述方法包括：

分別獲取劃片藍(lán)膜的條碼標(biāo)識以及與所述劃片藍(lán)膜相對應(yīng)的圓片的刻號標(biāo)識；

將所述條碼標(biāo)識與所述刻號標(biāo)識進行比對，并輸出比對結(jié)果。

在一些實施方式中，所述方法還包括：

存儲所述條碼標(biāo)識、所述刻號標(biāo)識以及所述比對結(jié)果。

在一些實施方式中，所述方法還包括：

在所述條碼標(biāo)識與所述刻號標(biāo)識不一致時，輸出報警信號。

在一些實施方式中，所述報警信號包括聲信號和/或光信號。

在一些實施方式中，所述比對結(jié)果包括比對結(jié)論和比對圖像。