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[發(fā)明專利]一種適用于單晶硅片的制絨添加劑及應(yīng)用有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202110680977.2 申請(qǐng)日: 2021-06-18
公開(公告)號(hào): CN113417011B 公開(公告)日: 2022-04-01
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 丁俊勇;李海;周樹偉;張麗娟;陳培良 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司
主分類號(hào): C30B33/10 分類號(hào): C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 213300 江蘇*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 適用于 單晶硅 添加劑 應(yīng)用
【說(shuō)明書】:

發(fā)明公開了一種適用于單晶硅片的制絨添加劑及應(yīng)用,所述制絨添加劑由如下質(zhì)量百分比含量的組分組成:主成核劑0.01~1wt%、輔助成核劑0.001~0.1wt%、絨面修飾劑0.1~2wt%、脫泡劑0.1~3wt%、余量為去離子水。本發(fā)明的制絨添加劑,降低了無(wú)機(jī)堿的用量,并且制絨后無(wú)需經(jīng)過(guò)雙氧水清洗,大大降低了化學(xué)品的耗量,而且簡(jiǎn)化了工藝流程,最終降低太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種適用于單晶硅片的制絨添加劑及應(yīng)用。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的制絨工序是在硅片表面形成絨面,制造光陷阱,增加硅片對(duì)太陽(yáng)光的吸收。單晶硅片的制絨是根據(jù)硅片在堿性溶液中不同晶面間的差異性腐蝕,在硅片表面形成金字塔結(jié)構(gòu),但僅有堿性溶液,差異性腐蝕不易體現(xiàn),無(wú)法形成金字塔絨面,而制絨添加劑的作用則是進(jìn)一步拉大晶面間的差異性腐蝕,進(jìn)而在硅片表面形成金字塔絨面。目前為了提高單晶硅片的制絨產(chǎn)能,制絨時(shí)間已經(jīng)縮短至7~9min,短時(shí)間制絨的實(shí)現(xiàn)方法主要為添加劑的優(yōu)化和制絨過(guò)程中堿用量的提高,因此目前堿用量通常為1~3wt%。而且,現(xiàn)有的制絨添加劑含有大量的親水性高分子物質(zhì),吸附能力強(qiáng),因此單晶硅片制絨后必須通過(guò)兩步清洗工藝才能去除單晶硅片表面的制絨添加劑,先采用雙氧水氧化清洗,再經(jīng)過(guò)氫氟酸和鹽酸的混酸清洗,形成疏水性Si-H鍵,使得單晶硅片表面達(dá)到疏水狀態(tài),進(jìn)而達(dá)到去除硅片表面的制絨添加劑。因此,現(xiàn)有的制絨添加劑容易增加化學(xué)品堿的耗量,而且工藝流程復(fù)雜,進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提出一種適用于單晶硅片的制絨添加劑及應(yīng)用,能夠降低制絨工序的堿用量,而且制絨后容易清洗去除。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:

一種適用于單晶硅片的制絨添加劑,所述制絨添加劑由如下質(zhì)量百分比含量的組分組成:主成核劑0.01~1wt%、輔助成核劑0.001~0.1wt%、絨面修飾劑0.1~2wt%、脫泡劑0.1~3wt%、余量為去離子水。

優(yōu)選的,所述主成核劑為木質(zhì)素磺酸鈉。

優(yōu)選的,所述輔助成核劑為聚醚多元醇。

進(jìn)一步優(yōu)選的,所述聚醚多元醇分子量為400~1500,選自丙二醇聚醚、甘油聚醚、山梨醇聚醚和蔗糖聚醚中的一種或多種。

優(yōu)選的,所述的絨面修飾劑為環(huán)糊精衍生物。

進(jìn)一步優(yōu)選的,所述環(huán)糊精衍生物選自羥乙基-β-環(huán)糊精、羧甲基-β-環(huán)糊精、磺丁基-β-環(huán)糊精和羥丙基-β-環(huán)糊精中的一種或多種。

優(yōu)選的,所述的脫泡劑為哌嗪衍生物。

進(jìn)一步優(yōu)選的,所述哌嗪衍生物選自N-(2-羥乙基)哌嗪、1,4-雙(2-羥基乙基)哌嗪中的一種或兩種。

本發(fā)明還提供了一種單晶硅片制絨用制絨液,包含堿溶液和上述制絨添加劑,制絨添加劑與堿溶液的質(zhì)量比為0.3:100~3:100,堿溶液為無(wú)機(jī)堿的水溶液。

優(yōu)選的,所述堿溶液為0.3~0.7wt%的氫氧化鈉水溶液或氫氧化鉀水溶液。

本發(fā)明還提供了一種單晶硅片的制絨方法,利用上述制絨液對(duì)單晶硅片進(jìn)行表面制絨。

上述單晶硅片的制絨方法包括如下步驟:

(1)將質(zhì)量百分含量為0.01~1%的主成核劑,0.001~0.1%的輔助成核劑,0.1~2%的絨面修飾劑,0.1~3%的脫泡劑加入到余量的去離子水中混合均勻,配成制絨添加劑;

(2)將步驟(1)的制絨添加劑與0.3~0.7wt%的堿溶液按0.3:100~3:100的比例混合均勻,配成單晶硅片制絨用制絨液;

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