[發(fā)明專利]一種可變角度的固晶方法、系統(tǒng)及固晶機

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110679902.2
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113437005A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾逸;劉耀金
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市卓興半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/60
• 代理公司: 深圳市添源知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44451
• 代理人: 于標(biāo)

1.一種可變角度的固晶方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1：根據(jù)擺臂的擺動角度，控制晶圓環(huán)旋轉(zhuǎn)指定角度；

步驟2：控制擺臂擺動至晶圓環(huán)位置，控制晶圓環(huán)進行橫向和/或縱向的移動，使晶圓環(huán)上的單顆晶圓與擺臂上安裝的固晶頭對準(zhǔn)，通過擺臂上安裝的固晶頭吸取晶圓環(huán)上的晶圓，完成單顆晶圓的取晶動作；

步驟3：控制擺臂擺動至基板位置，控制基板進行橫向和/或縱向的移動，使基板上的固晶點與晶圓對準(zhǔn)，通過固晶頭將晶圓固定在基板上，完成單顆晶圓的固晶動作；

重復(fù)執(zhí)行步驟2和步驟3，完成所有晶圓的取晶和所有晶圓的固晶；

擺臂在晶圓環(huán)與基板之間擺動，擺臂的擺動角度既不是90度也不是180度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶方法，其特征在于，所述指定角度為ω，ω＝180–β，β為擺臂從取晶到固晶的角度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶方法，其特征在于，通過擺臂電機的編碼器計算β的角度，所述擺臂電機用于驅(qū)動所述擺臂進行擺動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的固晶方法，其特征在于，所述擺臂至少為兩個，所述擺臂從晶圓環(huán)上取晶圓完成取晶動作，通過至少兩個擺臂將晶圓固定在一個基板上完成固晶動作。

5.一種可變角度的固晶系統(tǒng)，其特征在于，包括：

旋轉(zhuǎn)角度控制模塊：用于根據(jù)擺臂的擺動角度，控制晶圓環(huán)旋轉(zhuǎn)指定角度；

取晶模塊：用于控制擺臂擺動至晶圓環(huán)位置，控制晶圓環(huán)進行橫向和/或縱向的移動，使晶圓環(huán)上的單顆晶圓與擺臂上安裝的固晶頭對準(zhǔn)，通過擺臂上安裝的固晶頭吸取晶圓環(huán)上的晶圓，完成單顆晶圓的取晶動作；

固晶模塊：用于控制擺臂擺動至基板位置，控制基板進行橫向和/或縱向的移動，使基板上的固晶點與晶圓對準(zhǔn)，通過固晶頭將晶圓固定在基板上，完成單顆晶圓的固晶動作；

重復(fù)運行取晶模塊和固晶模塊，完成所有晶圓的取晶和所有晶圓的固晶；

擺臂在晶圓環(huán)與基板之間擺動，擺臂的擺動角度既不是90度也不是180度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固晶系統(tǒng)，其特征在于，所述指定角度為ω，ω＝180–β，β為擺臂從取晶到固晶的角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固晶系統(tǒng)，其特征在于，通過擺臂電機的編碼器計算β的角度，所述擺臂電機用于驅(qū)動所述擺臂進行擺動。

8.根據(jù)權(quán)利要求5至7任一項所述的固晶系統(tǒng)，其特征在于，所述擺臂至少為兩個，所述擺臂從晶圓環(huán)上取晶圓完成取晶動作，通過至少兩個擺臂將晶圓固定在一個基板上完成固晶動作。

9.一種固晶機，包括擺臂、晶圓環(huán)、固晶臺、擺臂電機、晶圓環(huán)驅(qū)動機構(gòu)、固晶臺驅(qū)動機構(gòu)，所述固晶臺用于放置基板，在進行取晶時，通過擺臂電機驅(qū)動擺臂擺動至晶圓環(huán)位置，通過晶圓環(huán)驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動晶圓環(huán)進行橫向和/或縱向的移動，使晶圓環(huán)上的單顆晶圓與擺臂上安裝的固晶頭對準(zhǔn)，通過擺臂上安裝的固晶頭吸取晶圓環(huán)上的晶圓，完成單顆晶圓的取晶動作；在進行固晶時，通過擺臂電機驅(qū)動擺臂擺動至基板位置，通過擺臂電機驅(qū)動固晶臺上進行橫向和/或縱向的移動，使固晶臺上的基板上的固晶點與晶圓對準(zhǔn)，通過固晶頭將晶圓固定在基板上，完成單顆晶圓的固晶動作；其特征在于：所述擺臂在晶圓環(huán)與基板之間擺動，擺臂的擺動角度既不是90度也不是180度，在進行取晶動作前，通過晶圓環(huán)驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動晶圓環(huán)旋轉(zhuǎn)指定角度，所述指定角度為ω，ω＝180–β，β為擺臂從取晶到固晶的角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固晶機，其特征在于，所述擺臂至少為兩個，所述擺臂從晶圓環(huán)上取晶圓完成取晶動作，通過至少兩個擺臂將晶圓固定在所述固晶臺的基板上完成固晶動作。