[發(fā)明專利]一種在鋯合金表面制備鉭涂層的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110679243.2
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113403603A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉日平;逯昊燃;郭宇星;陳博涵;馬巍;姬朋飛;李波;張新宇;馬明臻
• 申請（專利權(quán)）人: 燕山大學(xué)
• 主分類號: C23C16/14
• 分類號: C23C16/14;C23C16/448
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 劉丹丹

1.一種鋯合金表面制備鉭涂層的方法，其特征在于，包括以下步驟：

將氯氣與預(yù)熱的金屬鉭進(jìn)行氯化反應(yīng)，生成氯化鉭氣體，所述氯化反應(yīng)的溫度為1000～1200℃；

將所述氯化鉭氣體和氫氣在預(yù)熱的鋯合金表面進(jìn)行還原反應(yīng)，在所述鋯合金表面生成鉭涂層，所述還原反應(yīng)的溫度為1000～1200℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鉭涂層的厚度為20～50μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述氯氣的流量為40～60sccm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的方法，其特征在于，所述氯化反應(yīng)時，氯氣的壓強(qiáng)為100～200Pa。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述氫氣的流量為40～60sccm，氯化鉭的流量16～24sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的方法，其特征在于，所述還原反應(yīng)時，氫氣的壓強(qiáng)為100～200MPa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述還原反應(yīng)的時間為25～40min。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述還原反應(yīng)時，將所述鋯合金進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)的速度為5～10r/min。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述氯化反應(yīng)和還原反應(yīng)在兩個獨(dú)立的反應(yīng)室中進(jìn)行；

所述氯化反應(yīng)在第一反應(yīng)室進(jìn)行，生成的氯化鉭氣體由所述第一反應(yīng)室通入第二反應(yīng)室與氫氣進(jìn)行所述還原反應(yīng)，所述第二反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置有鋯合金。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鋯合金包括鋯鈦鈮合金、鋯鈮合金、鋯鈦鉬合金或鋯鈮硅合金。