[發明專利]一種柔性膜制作方法

有效

• 申請號: 202110677257.0
• 申請日: 2021-06-18
• 公開（公告）號: CN113463048B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 朱磊;周健;張繼凡
• 申請（專利權）人: 安徽立光電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/10;C23C14/20
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種用于制備柔性膜的方法，其特征在于，步驟如下：

（1）準備PET膜，所述PET膜的厚度為188μm；

（2）將PET膜安裝在磁控濺射鍍膜機的冷鼓上，PET膜的硬化面與冷鼓接觸，向冷鼓內通入-10℃冷凍液并進行循環，對PET膜材進行冷卻，抽真空至真空度小于8×10^-4?Pa，通入氬氣，保持真空度為4×10^-1Pa；

（3）采用陽極層離子源對PET膜的非硬化面進行轟擊，保持真空度4×10^-1Pa，控制離子源電壓1500V，電流0.2A；

（4）將經過步驟（3）處理后的PET膜放入至磁控濺射儀器內，保持真空度4×10^-1Pa，中頻電壓500V，在PET膜的非硬化面上采用中頻濺射的方式鍍制無氧硅膜層，所述無氧硅膜層的厚度為2nm；

（5）開啟磁控濺射靶材，采用直流電源在經過步驟（4）處理后的無氧硅膜層上沉積銦錫合金層，所述銦錫合金層的厚度為40nm，銦錫合金層中銦和錫的質量比為3:7；直流電源的電流為5A；

（6）采用中頻磁控濺射方式，在經過步驟（5）處理后的銦錫合金層上沉積二氧化硅層，所述二氧化硅層的厚度為10nm，得到柔性膜。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（6）中，中頻電源的功率為10kw。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（6）中，制備得到的PET仿金屬質感柔性膜的電阻值≥2000MΩ。