[發明專利]一種電磁驅動式MEMS微鏡

在審

• 申請號: 202110673823.0
• 申請日: 2021-06-17
• 公開（公告）號: CN113406783A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 秦毅;胡耀華;任斌;王福杰;郭芳;姜鳴;姚智偉
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: G02B21/24
• 分類號: G02B21/24;G02B21/26
• 代理公司: 北京欣鼎專利代理事務所(普通合伙) 11834
• 代理人: 王陽虹

1.一種電磁驅動式MEMS微鏡，包括底座(1)和微鏡(5)，其特征在于，所述底座(1)上固定連接設有固定柱(2)，所述固定柱(2)上右側固定連接設有固定桿(3)，所述固定桿(3)上設有通孔(4)，所述通孔(4)內設有微鏡(5)，所述微鏡(5)貫穿于通孔(4)設置，所述微鏡(5)位于通孔(4)內固定連接設有彈簧一(6)，所述彈簧一(6)的另一側和通孔(4)側壁固定連接設置，所述固定桿(3)右側設有螺紋孔(8)，所述螺紋孔(8)內螺紋套設有螺紋桿(9)，所述螺紋桿(9)貫穿于螺紋孔(8)設置，所述螺紋桿(9)位于通孔(4)內設有調控槽，所述調控槽內轉動連接設有轉塊(7)，所述轉塊(7)貫穿于調控槽和微鏡(5)固定連接設置，所述底座(1)上設有移動板(12)，所述底座(1)上設有移動板(12)的卡位裝置，所述底座(1)上設有按壓裝置。

2.根據權利要求1所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述卡位裝置包括在底座(1)上側設置的移動槽(10)，所述移動槽(10)位于固定柱(2)的右側設置，且所述移動槽(10)位于移動板(12)的下側設置，所述移動槽(10)內設有移動塊(11)，所述移動塊(11)貫穿于移動槽(10)和移動板(12)固定連接設置，所述移動槽(10)內設有環形槽(13)，所述環形槽(13)內轉動連接設有環形板(14)，所述環形板(14)貫穿于環形槽(13)設置，且所述移動塊(11)貫穿于環形板(14)和環形板(14)固定連接設置，所述移動槽(10)內設有接觸板(16)，所述接觸板(16)位于移動塊(11)的下側設置，所述接觸板(16)的下側固定連接設有彈簧二(15)，所述彈簧二(15)的另一側和移動槽(10)固定連接設置，所述移動槽(10)內設有深槽(32)，所述深槽(32)內滑動連接設有滑塊(33)，所述滑塊(33)貫穿于深槽(32)和接觸板(16)固定連接設置。

3.根據權利要求1所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述按壓裝置包括在底座(1)上對稱設置的兩個壓板(18)，兩個所述壓板(18)通過連接桿(23)固定連接設置，兩個所述壓板(18)右側設有轉動槽(19)，所述轉動槽(19)的兩側通透設置，所述轉動槽(19)內固定連接設有轉動桿(20)，所述轉動桿(20)上滑動套設有弧形板(21)，所述弧形板(21)貫穿于轉動槽(19)設置，所述弧形板(21)位于轉動槽(19)內固定連接設有彈簧三(22)，所述轉動桿(20)貫穿于彈簧三(22)設置，所述彈簧三(22)的另一側和轉動槽(19)固定連接設置。

4.根據權利要求3所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述固定柱(2)上設有控制槽(17)，所述控制槽(17)內對稱設有兩個限位槽(25)，兩個所述限位槽(25)之間通過限位板(26)連通設置，所述限位板(26)和兩個限位槽(25)滑動連接設置，所述限位板(26)的右側固定連接設有接觸桿(24)，所述接觸桿(24)貫穿于控制槽(17)側壁和連接桿(23)固定連接設置。

5.根據權利要求4所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述控制槽(17)內設有控制板(29)，所述控制板(29)貫穿于控制槽(17)設置，所述控制板(29)左側對稱固定連接設有兩個彈簧四(30)，兩個所述彈簧四(30)的另一側和控制槽(17)側壁固定連接設置，所述控制槽(17)內底部設有滑槽(27)，所述滑槽(27)內滑動連接設有滑桿(28)，所述滑桿(28)貫穿于滑槽(27)和控制板(29)固定連接設置，所述限位板(26)左側固定連接設有多個凸起(31)，多個所述凸起(31)和控制板(29)接觸連接設置。

6.根據權利要求5所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述控制板(29)上固定套設有橡膠套。

7.根據權利要求1所述的一種電磁驅動式MEMS微鏡，其特征在于，所述螺紋桿(9)位于固定桿(3)外側螺紋套設有防滑螺母。