[發明專利]柔性自支撐BaTiO3 在審
| 申請號： | 202110667604.1 | 申請日： | 2021-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN113698194A | 公開（公告）日： | 2021-11-26 |
| 發明（設計）人： | 安峰;鐘高闊;李江宇;黃明強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | C04B35/468 | 分類號： | C04B35/468;C04B35/32;C04B35/622;B82Y40/00;B82Y30/00;C23C14/28;C23C14/08;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 任志龍 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性 支撐 batio base sub | ||
1.一種柔性自支撐BaTiO3-CoFe2O4多鐵自組裝納米材料，其特征在于，包括磁性CoFe2O4(CFO)子體和鐵電性BaTiO3(BTO)母體，所述CFO子體以納米柱的形式嵌入所述BTO母體中構成1-3型復合磁電多鐵自組裝納米材料，所述BTO-CFO多鐵自組裝納米材料為柔性自支撐材料且可擺脫襯底束縛獨立存在。
2.根據權利要求1所述的柔性自支撐BaTiO3-CoFe2O4多鐵自組裝納米材料，其特征在于，所述BTO-CFO多鐵自組裝納米材料的厚度為60~100nm。
3.根據權利要求1所述的柔性自支撐BaTiO3-CoFe2O4多鐵自組裝納米材料，其特征在于，所述CFO子體為矩形納米柱結構，所述CFO子體的橫向直徑為25~70nm，所述CFO子體呈有序陣列分布于所述BTO母體中。
4.根據權利要求1所述的柔性自支撐BaTiO3-CoFe2O4多鐵自組裝納米材料，其特征在于，所述CFO子體和所述BTO母體在界面處為外延生長，其外延生長關系為BTO[001]-CFO[001]。
5.權利要求1~4任一項所述的柔性自支撐BaTiO3-CoFe2O4多鐵自組裝納米材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）選取特定晶面取向的基片；
（2）在選取的特定晶面取向的基片上制備預溶層；
（3）在預溶層上制備BaTiO3-CoFe2O4（BTO-CFO）層，形成基片/水溶層/BTO-CFO層的多層外延結構；
（4）將制得的多層外延結構浸泡于溶劑中溶解預溶層，基片與BTO-CFO層分離，制得柔性自支撐BTO-CFO多鐵自組裝納米材料。
6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）選取特定晶面取向的SrTiO3(STO)基片；
（2）在選取的特定晶面取向的STO基片上制備Sr3Al2O6(SAO)層；
（3）在SAO層上制備BaTiO3-CoFe2O4（BTO-CFO）層，形成STO/SAO/BTO-CFO多層外延結構；
（4）將制得的STO/SAO/BTO-CFO多層外延結構浸泡于溶劑中溶解SAO層，STO基片與BTO-CFO層分離，制得柔性自支撐BTO-CFO多鐵自組裝納米材料。
7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）中制備SAO層、步驟（3）中制備BTO-CFO層均采用脈沖激光沉積方法。
8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）中SAO層的沉積溫度為650~750℃，動態氧分壓為1×10-6~5×10-6Torr。
9.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）中BTO-CFO層的沉積溫度為800~850℃，動態氧分壓為3×10-2~1×10-1Torr。
10.根據權利要求7~9任一項所述的制備方法，其特征在于，沉積過程中激光能量為280~380mJ，激光脈沖頻率獨立為8~10Hz，沉積時間獨立為10~90min。
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