[發(fā)明專(zhuān)利]一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110664485.4
• 申請(qǐng)日: 2021-06-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113406362A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉風(fēng)光;吳鵬;趙巍勝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)合肥創(chuàng)新研究院（北京航空航天大學(xué)合肥研究生院）
• 主分類(lèi)號(hào): G01Q60/24
• 分類(lèi)號(hào): G01Q60/24;G01Q30/20
• 代理公司: 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 練蘭英

1.一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，包括底座(1)，所述底座(1)上安裝有原子力顯微鏡本體(3)，其特征在于：

所述底座(1)上對(duì)稱(chēng)開(kāi)設(shè)有兩個(gè)平行的開(kāi)槽，其中一個(gè)所述開(kāi)槽內(nèi)設(shè)置有光桿(2)，且光桿(2)與開(kāi)槽的內(nèi)壁固定連接，另一個(gè)所述開(kāi)槽內(nèi)設(shè)置有螺桿(4)，且螺桿(4)與開(kāi)槽的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述螺桿(4)延伸至開(kāi)槽外側(cè)并連接有驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)；

所述光桿(2)和螺桿(4)上均套設(shè)有連接架(12)，所述連接架(12)與光桿(2)滑動(dòng)連接，所述螺桿(4)與連接架(12)螺紋連接，兩個(gè)所述連接架(12)共同固定連接有托板(13)；

所述托板(13)的中部開(kāi)設(shè)有缺口，所述缺口的內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(11)，所述轉(zhuǎn)軸(11)上套設(shè)有固定套(10)，所述固定套(10)的外表面徑向固定連接有多個(gè)連接桿(9)，所述連接桿(9)遠(yuǎn)離固定套(10)的一端固定連接有樣品放置器皿(7)；

所述轉(zhuǎn)軸(11)的一端連接有驅(qū)動(dòng)其間隙翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(8)，所述轉(zhuǎn)軸(11)的另一端設(shè)置有翻轉(zhuǎn)后鎖緊的鎖緊機(jī)構(gòu)(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)由電機(jī)(51)、蝸桿(52)、蝸輪(53)和固定套(55)構(gòu)成；

所述電機(jī)(51)采用安裝在底座(1)的延伸處，所述電機(jī)(51)的輸出軸與蝸桿(52)固定連接，所述蝸桿(52)與蝸輪(53)嚙合，所述蝸輪(53)與固定套(55)鍵連接，所述固定套(55)與螺桿(4)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，其特征在于，所述蝸桿(52)通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)(51)的輸出軸固定連接，所述蝸桿(52)遠(yuǎn)離電機(jī)(51)的一端連接有軸承座(54)，且軸承座(54)固定連接在底座(1)上，所述軸承座(54)采用深溝球軸承座。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，其特征在于，所述鎖緊機(jī)構(gòu)(6)的實(shí)體部分由異形殼體(61)、卡塊(64)、彈簧(65)和T型桿(66)構(gòu)成；

所述異形殼體(61)與托板(13)固定連接，所述異形殼體(61)內(nèi)開(kāi)設(shè)有插槽(67)、收納槽(68)和限位槽(62)，所述插槽(67)與收納槽(68)連通，所述收納槽(68)內(nèi)設(shè)置有卡塊(64)，所述卡塊(64)與插槽(67)的內(nèi)壁之間焊接有彈簧(65)，所述卡塊(64)固定連接有T型桿(66)，所述T型桿(66)間隙穿過(guò)收納槽(68)的內(nèi)壁并延伸至限位槽(62)內(nèi)，所述轉(zhuǎn)軸(11)上開(kāi)設(shè)有多個(gè)與卡塊(64)配合使用的卡槽(63)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(8)由機(jī)箱(81)、主動(dòng)撥盤(pán)(82)、從動(dòng)槽輪(83)和減速電機(jī)(84)構(gòu)成；

所述主動(dòng)撥盤(pán)(82)與從動(dòng)槽輪(83)嚙合，所述主動(dòng)撥盤(pán)(82)和從動(dòng)槽輪(83)均設(shè)置在機(jī)箱(81)內(nèi)，所述減速電機(jī)(84)安裝在機(jī)箱(81)的外側(cè)，所述主動(dòng)撥盤(pán)(82)與減速電機(jī)(84)的輸出軸鍵連接，所述從動(dòng)槽輪(83)與轉(zhuǎn)軸(11)鍵連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高真空原位原子力顯微鏡送樣裝置，其特征在于，所述從動(dòng)槽輪(83)采用四槽槽輪，所述樣品放置器皿(7)的數(shù)量為四個(gè)。