[發明專利]一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法在審
| 申請號： | 202110661698.1 | 申請日： | 2021-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN113504705A | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發明（設計）人： | 王丹丹;張雪峰;張鑒 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109 | 代理人： | 何俊 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濕度 可調 凝膠 多彩 結構 制備 方法 | ||
1.一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
a)在襯底上先沉積底層金屬層，再均勻旋涂聚乙烯醇溶液，形成中間層聚乙烯醇水凝膠層；
b)對步驟a)的產物進行電子束曝光，水洗，被輻照的區域不被水溶解，形成納米結構；
c)在步驟b)得到的納米結構上再沉積上層金屬層，得到由所述底層金屬層、中間層、上層金屬層組成的水凝膠納米結構，在濕度裝置的調控下產生不同的顏色響應。
2.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述襯底為硅片襯底、金屬薄膜、氧化物薄膜或有機薄膜。
3.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述底層金屬層的厚度為100-300nm。
4.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述聚乙烯醇溶液為6％-10％聚乙烯醇水溶液。
5.根據權利要求1或4所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述聚乙烯醇的分子量為10000～26000g/mol。
6.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述旋涂的勻膠轉速為2000-4000轉/分。
7.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟a)所述聚乙烯醇水凝膠層的厚度為100-300nm。
8.根據權利要求1所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟b)所述電子束曝光的操作條件為：高壓2-10kv、光柵尺寸20-30μm、輻射劑量300～1500μC/cm2。
9.根據權利要求1或3或7所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟c)所述上層金屬層的厚度為5-36nm。
10.根據權利要求9所述的一種濕度可調的水凝膠多彩結構色制備方法，其特征在于，步驟c)所述上層金屬層的厚度為14nm。
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