[發明專利]一種碲化鋅摻銅靶材的制備方法有效
| 申請號： | 202110658965.X | 申請日： | 2021-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN113372117B | 公開（公告）日： | 2023-03-10 |
| 發明（設計）人： | 周榮艷;吳彩紅;文崇斌 | 申請（專利權）人： | 先導薄膜材料有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/515 | 分類號： | C04B35/515;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/35 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碲化鋅摻銅靶材 制備 方法 | ||
1.一種碲化鋅摻銅靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括以下步驟：
(1)將碲化鋅和碲化亞銅混合均勻的粉末混合物裝入真空熱壓燒結機中的模具中進行預壓；
(2)預壓結束后進行真空熱壓燒結，即得碲化鋅摻銅靶材；
其中，所述碲化鋅和碲化亞銅混合均勻的粉末混合物包含質量含量96～98％的碲化鋅；所述預壓的壓力為20～30T；
所述真空熱壓燒結的步驟包括：抽真空后以9～10℃/min的速率升溫至390～410℃進行第一次保溫，保溫20～30min后加壓，然后以9～10℃/min的速率升溫至690～725℃進行第二次保溫，保溫20～30min后加壓，加壓結束后降溫，即得所述碲化鋅摻銅靶材。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，所述加壓步驟包括：加壓至40～45MPa，保壓時間0.5～1.1h。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，所述降溫為自然降溫；在所述降溫過程中，溫度低于450℃后，停止抽真空并充入保護氣。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，在所述降溫結束后先進行脫模，再采用CNC加工成片，即得所述碲化鋅摻銅靶材。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述模具內置石墨紙以將所述粉末混合物與所述模具隔開。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述模具為石墨模具。
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