[發明專利]熱電偶引導件及陶瓷加熱器

在審

• 申請號: 202110656013.4
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113811029A
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發明（設計）人: 松下諒平
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02;H05B3/06;H05B3/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 陳彥;孔博

1.一種熱電偶引導件，具備：

直線管部；以及

彎曲管部，其與所述直線管部相連，以對所述直線管部的朝向進行轉換的方式設置，

所述彎曲管部中的包含前端在內的預定的前端側部分的截面的外形形狀是將圓的兩側直線狀地切掉而成的形狀。

2.根據權利要求1所述的熱電偶引導件，所述前端側部分的截面的外形形狀是將圓用2根平行且長度相同的弦切掉而成的形狀。

3.根據權利要求1或2所述的熱電偶引導件，所述熱電偶引導件是無縫管。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的熱電偶引導件，

所述彎曲管部的曲率半徑為15mm以上且50mm以下，

所述彎曲管部的行程長度為15mm以上且50mm以下，

所述彎曲管部將所述直線管部的朝向進行轉換的角度為50°以上且90°以下。

5.一種陶瓷加熱器，具備：

具有晶片載置面的圓盤狀的陶瓷板，

與所述陶瓷板中的與所述晶片載置面相反側的背面接合的筒狀軸，

埋設于所述陶瓷板的內周部的內周側電阻發熱體，

埋設于所述陶瓷板的外周部的外周側電阻發熱體，

包括所述內周側電阻發熱體的一對端子及所述外周側電阻發熱體的一對端子的附帶部件，

從所述陶瓷板的所述背面中的所述筒狀軸的內側區域的起點到達所述陶瓷板的外周部的末端位置為止的長孔，

作為所述長孔的入口部分的長槽，以及

所述彎曲管部的所述前端側被部分配置在所述長槽中的權利要求1～4中任一項所述的熱電偶引導件。

6.根據權利要求5所述的陶瓷加熱器，所述長槽的長度設定為所述彎曲管部的所述前端側部分的長度以上。

7.根據權利要求5或6所述的陶瓷加熱器，所述彎曲管部的所述前端側部分嵌入所述長槽中。

8.根據權利要求5～7中任一項所述的陶瓷加熱器，具備插入到所述熱電偶引導件和所述長孔中的熱電偶。