[發(fā)明專利]α粒子發(fā)射率測試方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110654904.6 | 申請日： | 2021-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN113568031A | 公開（公告）日： | 2021-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張戰(zhàn)剛;陳資文;雷志鋒;黃云;羅俊洋;彭超;何玉娟;肖慶中;李鍵坷;路國光 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗研究所（（工業(yè)和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室）） |
| 主分類號： | G01T1/36 | 分類號： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭鳳杰 |
| 地址： | 511300 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 粒子 發(fā)射 測試 方法 | ||
1.一種α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，包括：
獲取測試樣品；
對測試設(shè)備的背底噪聲進行調(diào)試，使得所述測試設(shè)備的α粒子發(fā)射率小于設(shè)定值；
利用完成調(diào)試的所述測試設(shè)備對所述測試樣品進行α粒子發(fā)射率測試，并對測試到的α粒子進行計數(shù)；
當所述α粒子的計數(shù)達到目標計數(shù)時結(jié)束測試，并獲取測試數(shù)據(jù)；
對所述測試數(shù)據(jù)進行分析和處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述測試設(shè)備包括樣品托盤，所述對測試設(shè)備的背底噪聲進行調(diào)試，使得所述測試設(shè)備的α粒子發(fā)射率小于設(shè)定值包括：
對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試，獲取所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率；
將所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率與所述設(shè)定值進行比較；
若所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率小于所述設(shè)定值，則結(jié)束對測試設(shè)備的背底噪聲的調(diào)試操作；
若所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率大于等于所述設(shè)定值，則對所述樣品托盤進行降噪處理，直至所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率小于所述設(shè)定值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述對所述測試設(shè)備的樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試，獲取所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率包括：
獲取對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試時的粒子計數(shù)和測試時間，并獲取所述樣品托盤的表面積；
根據(jù)所述樣品托盤的表面積、對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試時的粒子計數(shù)和測試時間，獲取所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述根據(jù)所述樣品托盤的表面積、對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試時的粒子計數(shù)和測試時間，獲取所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率包括：
根據(jù)表達式計算所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率；
式中，Rt為所述樣品托盤的α粒子發(fā)射率，單位為/cm2/hr，N0為對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試時的粒子計數(shù)，T0為對所述樣品托盤進行α粒子發(fā)射率背底測試時的測試時間，單位為hr，St為所述樣品托盤的表面積，單位為cm2。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述測試數(shù)據(jù)包括粒子計數(shù)、α粒子發(fā)射能譜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述對所述測試數(shù)據(jù)進行分析和處理包括：
甄別所述α粒子發(fā)射率測試中得到的所述α粒子的發(fā)射源，確定所述發(fā)射源為所述測試樣品的粒子計數(shù)；
獲取所述測試樣品的表面積、所述測試樣品在α粒子發(fā)射率測試中的粒子計數(shù)和測試時間；
根據(jù)所述測試樣品的表面積、所述測試樣品在α粒子發(fā)射率測試中的粒子計數(shù)和測試時間，獲取所述測試樣品的α粒子發(fā)射率；
根據(jù)測量得到的所述測試樣品的α粒子發(fā)射能譜，判斷所述測試樣品的材料內(nèi)部的α粒子放射源。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的α粒子發(fā)射率測試方法，其特征在于，所述根據(jù)所述測試樣品的表面積、所述測試樣品在α粒子發(fā)射率測試中的粒子計數(shù)和測試時間，獲取所述測試樣品的α粒子發(fā)射率包括：
根據(jù)表達式計算所述測試樣品的α粒子發(fā)射率；
式中，Rs為所述測試樣品的α粒子發(fā)射率，單位為/cm2/hr，N1為所述測試樣品在α粒子發(fā)射率測試中的粒子計數(shù)，T1為對所述測試樣品在α粒子發(fā)射率測試中的測試時間，單位為hr，Ss為所述測試樣品的表面積，單位為cm2。
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