[發明專利]半導體刻蝕設備的電源柜

在審

• 申請號: 202110653096.1
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113363810A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 錢宗男
• 申請（專利權）人: 蘇州冠韻威電子技術有限公司
• 主分類號: H02B1/20
• 分類號: H02B1/20;H02B1/30;H02B1/32;H02B1/24;H02B1/50;H02B1/52;H02H7/26;H02H7/22;E05B65/52;E05C7/04
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于包括柜體和配電系統，所述配電系統包括設置在所述柜體內部腔室中的總進線斷路器和其他功能模塊；

所述柜體上設置有可打開關閉所述腔室的柜門，所述柜門包括可雙向打開的第一門體和第二門體，所述第一門體和第二門體上分別對應設置有第一門鎖和第二門鎖，以及，所述第一門體上還設置有總進線斷路器操作機構，所述總進線斷路器操作機構與所述總進線斷路器連接,并至少用于閉合或斷開所述總進線斷路器,并且，所述第一門鎖還分別經所述總進線斷路器操作機構的金屬連桿、第一門體的折邊與所述總進線斷路器、第二門鎖機械連鎖，當所述總進線斷路器被斷開及所述第二門鎖處于被解鎖的狀態時，所述第一門鎖處于能夠被解鎖的狀態。

2.根據權利要求1所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述柜體內部的腔室中還設置有防護板，所述配電系統所包含的多個功能模塊設置在所述防護板與柜體之間，其中，與所述功能模塊連接的操控按鈕設置在所述防護板背對功能模塊的一側，或者，與所述功能模塊連接的操控按鈕暴露于所述防護板背對功能模塊的一側。

3.根據權利要求2所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述腔室被分隔為背對設置的第一腔室和第二腔室，所述柜體上設置有分別可打開關閉所述第一腔室、第二腔室的第一柜門和第二柜門，其中，所述總進線斷路器設置在所述第一腔室內，所述總進線斷路器操作機構設置在所述第一柜門的第一門體上；

和/或，所述第二柜門為雙開門結構；優選的，所述防護板為透明的防護板。

4.根據權利要求2所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述第一腔室內還設置有第一安裝板，所述第一安裝板分為上安裝板和下安裝板，所述第二腔室內還設置有第二安裝板，所述多個功能模塊分別對應安裝在所述第一安裝板和第二安裝板上，其中，安裝在所述第一安裝板上的功能模塊均為強電模塊，設置在所述第二安裝板上的功能模塊包括強電模塊和弱電模塊；

優選的，所述功能模塊被限定在所述第一安裝板、第二安裝板與防護板之間。

5.根據權利要求3所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述功能模塊包括斷路器、零序互感器、接觸器、三相銅排、零排、PE排、銅排絕緣子、漏電保護模塊、電源回路端子排、控制回路端子排、時間繼電器、直流電源、煙霧傳感器、安全繼電器、變壓器。

6.根據權利要求3所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述柜體包括相對設置的頂板、底板以及相對設置的兩個側板，所述頂板、底板以及兩個側板連接并圍合形成所述的腔室，其中，所述第一柜門和第二柜門與所述側板活動連接；

優選的，所述第一柜門和第二柜門背對設置；

優選的，所述第一柜門上還設置有與柜體內部功能模塊連接的多個指示燈。

7.根據權利要求5所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述頂板的外部還設置有多個電纜進出線接頭，所述多個電纜進出線接頭分別與所述配電系統所包含的多個功能模塊電連接。

8.根據權利要求5所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述頂板的外部還固定設置有絕緣墊板，所述絕緣墊板上設置有與所述腔室連通的過線塞；

優選的，所述過線塞為塔形結構。

9.根據權利要求5所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述柜體還設置有進風口和出風口，所述柜體內部的腔室經所述進風口、出風口與外部環境連通，并在所述進風口、腔室和出風口之間形成可供氣流流通的散熱通道。

10.根據權利要求9所述半導體刻蝕設備的電源柜，其特征在于：所述進風口設置在所述側板靠近底板的下部區域，所述出風口設置在所述頂板上；

優選的，所述進風口處還設置有過濾窗，所述出風口處設置有散熱風扇。