[發明專利]一種高精度位移傳感器

在審

• 申請號: 202110650164.9
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113432521A
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 吳玉曉;韓鑫彤;李永
• 申請（專利權）人: 北京奧特美克科技股份有限公司
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 南昌華策專利代理事務所(普通合伙) 36151
• 代理人: 陳志輝

1.一種高精度位移傳感器，其特征在于，包括電子倉(1)、微處理器(2)、激勵脈沖電路(3)、回波采集電路(4)、回波分析電路(5)、通信模塊(6)、顯示屏(7)、時間計量電路(8)、測定桿(9)、鋁套管(10)、波導絲(11)、移動磁環(12)；電子倉(1)內包括均與微處理器(2)相連的激勵脈沖電路(3)、回波分析電路(5)、通信模塊(6)、顯示屏(7)、時間計量電路(8)；回波采集電路(4)分別連接回波分析電路(5)和波導絲(11)；波導絲(11)連接激勵脈沖電路(3)，其包封在鋁套管(10)內，并在中間設有移動磁環(12)；波導絲(11)由磁致伸縮材料(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)制成，0.40≤x≤0.75，0.20≤y≤0.5，0.05≤1-x-y。

2.根據權利要求1所述的高精度位移傳感器，其特征在于，在波導絲(11)兩端設有阻尼元件(13)。

3.根據權利要求1所述的高精度位移傳感器，其特征在于，在測定桿(9)內設有與微處理器(2)相連的溫度傳感器(14)。

4.根據權利要求1所述的高精度位移傳感器，其特征在于，所述磁致伸縮材料(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)的制備方法為：

1）按摩爾比稱取原料Fe、Co、Tb、Mn、Ga單質，混勻，置于電弧熔煉爐的坩鍋內，再于另一坩鍋內加入Zr單質；關閉電弧熔煉爐，抽真空到10^-6Pa以下，充氬氣到0.5-0.6個大氣壓；啟動真空電弧熔煉爐，起弧后加電流至260-280A，并啟動攪拌器，先熔煉Zr以除氧；再熔煉混合原料，每次熔煉5-15min，反復熔煉2-3次，熔煉結束后，慢慢調小電流至關閉電源，放置10-30min 后，取出樣品，得合金鑄錠；

2）將合金鑄錠輕輕敲碎放入石英玻璃管中抽真空封存，然后放入到高溫爐中從室溫加熱到1300-1500℃，然后施加4-5T的磁場，保溫10-30min，再以1.2-1.5℃的速率降到900-1000℃，撤去磁場，自然冷卻到室溫，取出合金樣品；再在低溫爐中以900-1000℃退火60-90h；常規處理，即得。

5.一種磁致伸縮材料，其特征在于，為(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)，0.40≤x≤0.75，0.20≤y≤0.5，0.05≤1-x-y。

6.如權利要求5所述磁致伸縮材料(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)在制備位移傳感器上的應用。