[發明專利]一種微型位移傳感器敏感元件波導絲的制備方法

在審

• 申請號: 202110650163.4
• 申請日: 2021-06-11
• 公開（公告）號: CN113444898A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 吳玉曉;彭琴
• 申請（專利權）人: 北京奧特美克科技股份有限公司
• 主分類號: C22C1/02
• 分類號: C22C1/02;C22C30/00;C22F1/00;C22F3/00;H01F1/03;H01F41/02
• 代理公司: 南昌華策專利代理事務所(普通合伙) 36151
• 代理人: 陳志輝

1.一種微型位移傳感器敏感元件波導絲的制備方法，其特征在于，具體步驟為：

1）制備波導絲的磁致伸縮材料配方為(Fe_0.82Co_0.18)_x-(Tb_0.4Mn_0.6)_y-Ga_(1-x-y)，0.40≤x≤0.75，0.20≤y≤0.5，0.05≤1-x-y；

2）按摩爾比稱取原料Fe、Co、Tb、Mn、Ga單質，混勻，置于電弧熔煉爐的坩鍋內，再于另一坩鍋內加入Zr單質；關閉電弧熔煉爐，抽真空到10^-6Pa以下，充氬氣到0.5-0.6個大氣壓；啟動真空電弧熔煉爐，起弧后加電流至260-280A，并啟動攪拌器，先熔煉Zr以除氧；再熔煉混合原料，每次熔煉5-15min，反復熔煉2-3次，熔煉結束后，慢慢調小電流至關閉電源，放置10-30min 后，取出樣品，得合金鑄錠；

3）將樣品輕輕敲碎放入石英玻璃管中抽真空封存，然后放入到高溫爐中從室溫加熱到1300-1500℃，然后施加4-5T的磁場，保溫10-30min，再以1.2-1.5℃的速率降到900-1000℃，撤去磁場，自然冷卻到室溫，取出合金樣品；再在低溫爐中以900-1000℃退火60-90h，澆鑄到模具中，制成合金棒材；

4）取合金棒材，進行熱軋處理和打磨，然后消除表面氧化皮，在拉絲機上進行冷拔，得合金絲；

5）在氬氣保護下，進一步對合金絲進行熱處理，得到波導絲。

2.根據權利要求1所述的微型位移傳感器敏感元件波導絲的制備方法，其特征在于，步驟4）中，熱軋前用50kg的空氣錘反復鍛造，再熱軋成條。

3.根據權利要求2所述的微型位移傳感器敏感元件波導絲的制備方法，其特征在于，步驟4）中，打磨時經1-5號金相砂紙依次打磨后，再經2.5微米和0.5微米兩道拋光。

4.根據權利要求3所述的微型位移傳感器敏感元件波導絲的制備方法，其特征在于，步驟4）中，打磨、拋光后，再用4%硝酸酒精腐蝕處理。

5.根據權利要求1-4任一所述制備方法制得的微型位移傳感器敏感元件波導絲或磁致伸縮材料。