[發明專利]一種準分子激光器布窗結構

在審

• 申請號: 202110648254.4
• 申請日: 2021-06-10
• 公開（公告）號: CN115473110A
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 陳文斌;劉斌;張寅虎;吳勁松;宋興亮;江銳
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/034
• 分類號: H01S3/034;H01S3/041
• 代理公司: 北京融智邦達知識產權代理事務所(普通合伙) 11885
• 代理人: 吳強

1.一種準分子激光器布窗結構，其特征在于，包括：本體(10)和窗片組件(20)；

所述窗片組件(20)包括安裝座(22)、鏡片(21)和壓塊(23)；

所述安裝座(22)內設置有安裝槽，所述鏡片(21)嵌裝在安裝槽內，利用壓塊(23)壓固；

所述本體(10)上設置有用于激光通過的通道(10a)；所述本體(10)包括窗體(11)和壓固塊(12)；

所述窗片組件(20)布設在本體(10)的通道(10a)上，且被所述窗體(11)和所述壓固塊(12)夾持固定。

2.根據權利要求1所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述安裝座(22)與所述鏡片(21)之間設置有密封墊圈(26)；和/或，所述壓塊(23)與所述鏡片(21)之間設置有密封墊圈(26)。

3.根據權利要求1所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述窗體(11)與所述安裝座(22)之間設置有第一密封墊圈(13)；和/或，所述壓固塊(12)與所述安裝座(22)之間設置有第二密封墊圈(14)。

4.根據權利要求1所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述安裝座(22)與所述壓塊(23)通過多個緊固螺釘(24)固定連接，多個緊固螺釘(24)在所述鏡片(21)的周向上均勻布設；

所述窗片組件(20)組裝時，采用力矩扳手旋緊緊固螺釘(24)，保證多個緊固螺釘(24)預緊力相同；后利用干涉儀進行鏡片(21)面型檢測，若鏡片(21)面型變化超過規定值，則調整一個或若干個緊固螺釘(24)的預緊力直至鏡片(21)面型合格。

5.根據權利要求1所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述窗體(11)或所述壓固塊(12)上設置有安裝沉臺(12a)，所述安裝座(22)嵌裝在所述安裝沉臺(12a)內。

6.根據權利要求5所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述安裝沉臺(12a)為圓錐臺形孔；所述安裝座(22)外側面為與所述圓錐臺形孔配合的錐臺型工作面。

7.根據權利要求1所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述安裝座(22)和壓塊(23)構成一個用于固定所述鏡片(21)的安裝架(25)；所述窗體(11)下底面上設置有上環槽(15)，上環槽(15)內設置有由彈性材料制成的上環形袋(17)，上環形袋(17)與冷卻介質源連接，上環形袋(17)在冷卻介質的壓力作用下向上環槽(15)外鼓起，并抵靠在所述安裝架(25)的上端面上，用于對安裝架(25)頂部進行冷卻。

8.根據權利要求7所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述壓固塊(12)頂面上設置有下環槽(16)，下環槽(16)內設置有由彈性材料制成的下環形袋(18)，下環形袋(18)與冷卻介質源連接，下環形袋(18)在冷卻介質的壓力作用下向下環槽(16)外鼓起，并抵靠在所述安裝架(25)的下端面上，用于對安裝架(25)底部進行冷卻。

9.根據權利要求8所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述上環形袋(17)和下環形袋(18)的冷卻介質進口分別通過第一供給支管(17a)和第二供給支管(18a)與冷卻介質源的供給管路(60)連接；所述上環形袋(17)和下環形袋(18)的的冷卻介質出口分別通過第一回收支管(17b)和第二回收支管(18b)與冷卻介質源的回收管路(61)連接。

10.根據權利要求9所述的準分子激光器布窗結構，其特征在于，所述第一回收支管(17b)上設置有第一溫控閥，第一溫控閥包括第一閥體和第一溫度探頭；所述第一溫度探頭設置在所述窗體(11)內的所述通道(10a)內，用于感知窗體(11)內的所述通道(10a)內的溫度；所述第一閥體的流量大小調節與第一溫度探頭感知的所述通道(10a)內溫度正相關。