[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110647025.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN113371749A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡阿麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安吉利電子化工有限公司
• 主分類號(hào): C01F11/22
• 分類號(hào): C01F11/22;C01B33/32;C01B7/03;C30B29/48;C30B29/62;C30B7/14
• 代理公司: 西安維賽恩專利代理事務(wù)所(普通合伙) 61257
• 代理人: 劉春

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法，包括以下步驟：S1、將含鈣污泥粉碎成塊狀，再向塊狀的含鈣污泥內(nèi)加入稀鹽酸，待反應(yīng)完全無(wú)氣泡產(chǎn)生后進(jìn)行固液分離，得到溶液A和固體A；稀鹽酸為塊狀的含鈣污泥質(zhì)量的4?5倍；S2、在溶液A里緩慢加入濃度為98％的硫酸溶液，控制反應(yīng)溫度30℃?50℃之間，得到溶液B和固體B，收集反應(yīng)生成的鹽酸氣體；S3、向固體A中加入濃度為15％?35％的氫氧化鈉溶液，加熱到50℃?70℃，固液分離得到硅酸鈉溶液和氟化鈣固體；氫氧化鈉溶液為固體A質(zhì)量的2?3倍；S4、向固體B中加入1％??3％的轉(zhuǎn)晶劑，生產(chǎn)成硫酸鈣晶須；解決了現(xiàn)有技術(shù)處理含鈣污泥后分離得到的氟化鈣固體的純度較低的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于固體廢棄物資源化利用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝復(fù)雜，其中的刻蝕工序使用氫氟酸、氟化銨導(dǎo)致產(chǎn)生大量的含氟廢水。目前最實(shí)用的處理方法是加入氫氧化鈣、氯化鈣等，通過(guò)Ca²⁺和F^-反應(yīng)生成CaF₂沉淀，再通過(guò)混凝沉劑共同作用從而達(dá)到去除氟離子、凈化水質(zhì)的目的，同時(shí)也產(chǎn)生了大量的含鈣含氟污泥，其中含有氟化鈣、氫氧化鈣、碳酸鈣、硅酸鈣等鈣鹽，由于氟化鈣污泥對(duì)環(huán)境危害大，目前大部分處理方式是用來(lái)制磚或作為水泥添加劑，但經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的積累，會(huì)對(duì)地表水、土壤、地下水造成二次污染，存在一定的社會(huì)安全隱患，基于以上原因，有效處理含鈣污泥成為目前迫切解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)處理含鈣污泥后分離得到的氟化鈣固體的純度較低的問(wèn)題。

本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法，包括以下步驟：

S1、將含鈣污泥粉碎成塊狀，再向塊狀的含鈣污泥內(nèi)加入稀鹽酸，待反應(yīng)完全無(wú)氣泡產(chǎn)生后進(jìn)行固液分離，得到溶液A和固體A；稀鹽酸為塊狀的含鈣污泥質(zhì)量的4-5倍；

S2、在溶液A里緩慢加入濃度為98％的硫酸溶液，控制反應(yīng)溫度30℃-50℃之間，得到溶液B和固體B，收集反應(yīng)生成的鹽酸氣體；

S3、向固體A中加入濃度為15％-35％的氫氧化鈉溶液，加熱到50℃-70℃，固液分離得到硅酸鈉溶液和氟化鈣固體；氫氧化鈉溶液為固體A質(zhì)量的2-3倍；

S4、向固體B中加入1％--3％的轉(zhuǎn)晶劑，生產(chǎn)成硫酸鈣晶須；

其中，溶液A為氯化鈣溶液，固體A為氟化鈣，溶液B為硫酸和鹽酸的混合液，固體B為固體硫酸鈣。

進(jìn)一步的，稀鹽酸濃度為3％-10％。

進(jìn)一步的，含鈣污泥粉碎成直徑在1cm左右的塊狀，加入稀鹽酸后攪拌反應(yīng)2-3小時(shí)。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥資源化利用的方法，將含鈣污泥分成兩部分：第一部分將氟化鈣分離出來(lái)，提純；第二部分添加轉(zhuǎn)晶劑，將鈣鹽變成硫酸鈣，最終得到了純度高的硫酸鈣晶須，可以繼續(xù)使用；從而達(dá)到含鈣污泥資源資源化利用的目的，解決了環(huán)保問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法的方法流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體行業(yè)含鈣污泥的處理方法，包括以下步驟：

S1、將含鈣污泥通過(guò)破碎機(jī)粉碎成直徑在1cm左右的塊狀，再向塊狀的含鈣污泥內(nèi)加入稀鹽酸，并反應(yīng)2-3小時(shí)；待反應(yīng)完全無(wú)氣泡產(chǎn)生后進(jìn)行固液分離，得到溶液A和固體A；