[發明專利]微粒操縱與檢測芯片及其制作方法、微粒操縱與檢測方法

在審

• 申請號: 202110647019.5
• 申請日: 2021-06-10
• 公開（公告）號: CN113308372A
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發明（設計）人: 劉麗煒;許杭史;屈軍樂;趙誼華
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C12M1/42
• 分類號: C12M1/42;C12M1/00;B01L3/00
• 代理公司: 深圳尚業知識產權代理事務所(普通合伙) 44503
• 代理人: 王利彬

1.一種微粒操縱與檢測芯片，其特征在于，包括：

ITO導電玻璃，其上開設有第一通孔、第二通孔、第三通孔及第四通孔；

設置于所述ITO導電玻璃一側的硬質膠帶，其上開設有微通道，所述微通道包括依次連通的樣品注射區域、微粒排列區域、微粒分離區域、廢棄微粒收集區域、微粒收集區域、微粒操控區域及觀察分析區域，所述樣品注射區域與所述第一通孔相連通，所述廢棄微利收集區域與所述第二通孔及所述第三通孔相連通，所述觀察分析區域與所述第四通孔相連通，所述微粒分離區域用于接收數字微鏡陣列產生的第一預定光圖案線段生成的介電泳力，以分離微粒，所述微粒操縱區域用于接收數字微鏡陣列產生的第一預定光圖案選定微粒，并用于接收壓電陶瓷換能器的能量操縱所述微粒；

設置于所述硬質膠帶遠離所述ITO導電玻璃一側的光電導玻璃。

2.根據權利要求1所述的微粒操縱與檢測芯片，其特征在于，

所述微通道長30mm；

所述樣品注射區域長度為2500μm，寬度為100μm；

所述微粒排列區域長度有兩段，每段長度為750μm,高度為60μm，傾斜角度為±30°，在前后連通的節點處形成鏡像兩段；

所述微粒分離區域長度為2500μm，寬度為100μm；

所述廢棄微粒收集區域長度有兩段，每段長度為1500μm,高度為60μm，傾斜角度為±45°，在前后連通的節點處形成鏡像兩段；

所述微粒收集區域長度為1000μm，寬度為100μm；

所述微粒操控區域長度為1000μm，寬度為250μm；所述觀察分析區域長度為1000μm，寬度為250μm；

所述微粒收集區域及所述微粒操控區域之間還設置有中間隔斷區域，長度為250μm，寬度為200μm。

3.根據權利要求2所述的微粒操縱與檢測芯片，其特征在于，

所述微粒排列區域的寬度大于將要分離的微粒中最大微粒的直徑，小于所述最大微粒的直徑的二倍。

4.根據權利要求1所述的微粒操縱與檢測芯片，其特征在于，

所述ITO導電玻璃包括：

第一玻璃；

在所述第一玻璃噴濺的透明導電層；

所述光電導玻璃包括：

第二玻璃；

在所述第二玻璃噴濺的透明導電層；

在所述透明導電層上噴濺的鉬金屬層；

在所述鉬金屬層上沉積的氫化非晶硅層。

5.根據權利要求1所述的微粒操縱與檢測芯片，其特征在于，

所述ITO導電玻璃及所述光電導玻璃的長寬高尺寸分別為5cm，3cm，0.11cm；

所述硬質膠帶的長寬高尺寸分別為5cm，3cm，0.15μm。

6.一種微粒操縱與檢測芯片的制作方法，其特征在于，包括：

選取第一玻璃、第二玻璃及硬質膠帶；

將所述第一玻璃及所述第二玻璃分別制成ITO導電玻璃及光電導玻璃；

在ITO導電玻璃上開設第一通孔、第二通孔、第三通孔及第四通孔；

在所述硬質膠帶上開設微通道，微通道包括依次連通的樣品注射區域、微粒排列區域、微粒分離區域、廢棄微粒收集區域、微粒收集區域、微粒操控區域及觀察分析區域，所述微粒分離區域用于接收數字微鏡陣列產生的第一預定光圖案線段生成的介電泳力，以分離微粒，所述微粒操縱區域用于接收數字微鏡陣列產生的第一預定光圖案選定微粒，并用于接收壓電陶瓷換能器的能量操縱所述微粒；

將所述硬質膠帶作為夾層組裝于所述ITO導電玻璃及所述光電導玻璃之間，且所述樣品注射區域與所述第一通孔相連通，所述廢棄微利收集區域與所述第二通孔及所述第三通孔相連通，所述觀察分析區域與所述第四通孔相連通，得到微粒操縱與檢測芯片。