[發(fā)明專利]一種旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110646193.8
• 申請(qǐng)日: 2021-06-09
• 公開（公告）號(hào): CN113463043B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈文興;白平平;童培云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/35;B22D19/00;B22D27/04;B22D27/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）將背管放入涂有脫模劑的模具中，密封后將模具放入到爐膛中，排除空氣后對(duì)爐膛進(jìn)行加熱保溫；加熱保溫的方式為：加熱的升溫速率為3-5℃/min，加熱至220-300℃，保溫5-10min；其中，模具為環(huán)形狀，模具的上下管中心位置具有固定圓弧凸起，模具底座設(shè)置一個(gè)加熱盤；背管外壁與模具內(nèi)部間有設(shè)定的間隙；爐膛自下而上每間隔20-30cm設(shè)置加熱區(qū)，每個(gè)加熱區(qū)設(shè)定一個(gè)熱電偶；

其中，背管的表面粗糙度為8-15μm，背管噴砂層的圓跳動(dòng)檢測(cè)值＜0.8mm，背管的真空密封性檢測(cè)值＜1×10^-7?SCCS，背管其中一側(cè)密封完全，背管距離端部一側(cè)8-15cm處的內(nèi)壁，用圓片焊接密封完全；

（2）將金屬錠子加熱熔化后，沿著模具上的澆注口管道注入到模具中，保溫一段時(shí)間后，首先關(guān)閉底部加熱盤，冷卻至金屬錠子熔點(diǎn)以下20-30℃，按照此規(guī)律再依次自下而上冷卻，直至完全冷卻至室溫；所述金屬錠子為銦錠、錫錠中的至少一種，所述錠子符合Rohs2.0環(huán)保要求；

（3）打開模具，將靶材取出后進(jìn)行加工，得到所述旋轉(zhuǎn)靶材。

2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，背管的表面粗糙度為12μm。

3.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，排除空氣的方式為：以2-3L/min的速率通入惰性氣體，通入的時(shí)間為30-60min。

4.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，加熱至250-300℃。

5.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（2）中，金屬錠子加熱熔化的溫度為210-260℃，保溫的時(shí)間為5-15mim。

6.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（3）中，加工的包含預(yù)加工、檢測(cè)和機(jī)械加工；預(yù)加工的方式為：使用車床進(jìn)行預(yù)加工；檢測(cè)的方式為：運(yùn)用超聲波掃描儀進(jìn)行靶材的內(nèi)部缺陷和焊合率檢測(cè)；機(jī)械加工的方式為：按照安裝圖紙進(jìn)行機(jī)械加工，得到所述旋轉(zhuǎn)靶材。

7.一種如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法制備得到的旋轉(zhuǎn)靶材。

8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)靶材的密度＞99%，焊合率≥95%，平均晶粒尺寸＜800μm，靶材氧含量＜200ppm。