[發明專利]一種光纖端面集成微納結構的加工方法

有效

• 申請號: 202110645730.7
• 申請日: 2021-06-10
• 公開（公告）號: CN113416006B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 仇旻;王紀永;張磊;賈倩楠;陳博取
• 申請（專利權）人: 西湖大學
• 主分類號: C03C25/68
• 分類號: C03C25/68;C03C25/12;C03C25/104
• 代理公司: 河南大象律師事務所 41129
• 代理人: 吳素華

1.一種光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

安裝，將待加工光纖安放到光纖適配器上，獲得待加工件；

旋涂，通過旋涂載纖裝置將所述待加工件固定到勻膠機處，由所述勻膠機將電子束抗蝕劑旋涂到所述待加工光纖的待加工端上，獲得旋涂光纖件；

刻蝕，通過刻蝕載纖裝置將所述旋涂光纖件固定到刻蝕裝置處，所述刻蝕裝置可發出電子束，由所述刻蝕裝置發出的電子束對所述旋涂光纖件的待加工端進行刻蝕加工，獲得刻蝕光纖件；

鍍膜，對所述刻蝕光纖件中已刻蝕的光纖顯影處理后，通過鍍膜載纖裝置將顯影后的刻蝕光纖固定到鍍膜裝置處，通過所述鍍膜裝置對顯影后的刻蝕光纖件的待加工端進行鍍膜加工；

或

安裝，將待加工光纖安放到鍍膜載纖裝置上；

鍍膜，通過鍍膜載纖裝置將待加工光纖固定到鍍膜裝置處，通過所述鍍膜裝置對待加工件中光纖的待加工端進行鍍膜加工，獲得鍍膜光纖；

刻蝕，將鍍膜光纖的待加工端連接到光纖適配器上，然后將光纖適配器連同鍍膜光纖放置在刻蝕載纖裝置上，通過刻蝕載纖裝置將所述鍍膜光纖固定到刻蝕裝置處，所述刻蝕裝置可發出離子束，由所述刻蝕裝置發出的離子束對所述鍍膜光纖的待加工端進行刻蝕加工，獲得具有集成微納結構的功能光纖；

所述的旋涂載纖裝置包括有旋轉載纖底座，所述旋轉載纖底座包括有下端與所述勻膠機連接的連接部、中部用于支撐的支撐部和上端用于裝載所述待加工件的裝載部；

所述刻蝕載纖裝置包括有光纖搭載底座，所述光纖搭載底座包括有下端與所述刻蝕裝置配合的燕尾槽，以及上端用于裝載所述待加工件的搭載部；

所述鍍膜載纖裝置包括有下端與所述鍍膜裝置連接的結合部，以及上端可安放至少一個所述待加工光纖的安放部。

2.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述待加工光纖的一端為具有標準單模或多模光纖連接器的可集成微納結構的待加工端，另一端為光纖尾纖。

3.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述支撐部的截面大于所述連接部和所述裝載部的截面。

4.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述裝載部為中空的筒壁結構，所述待加工件可放置在所述筒壁結構內。

5.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述裝載部上設置有可穿設所述待加工光纖的光纖尾纖的裝載孔。

6.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述搭載部為中空的筒壁結構，所述待加工件可放置在所述筒壁結構內。

7.根據權利要求1所述的光纖端面集成微納結構的加工方法，其特征在于，所述搭載部上設置有可穿設所述待加工光纖的光纖尾纖的搭載孔。