[發明專利]檢測方法及檢測設備

在審

• 申請號: 202110644264.0
• 申請日: 2021-06-09
• 公開（公告）號: CN113376181A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 陳魯;王天民;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市沈合專利代理事務所(特殊普通合伙) 44373
• 代理人: 蔡燕翔

本申請公開了一種檢測方法。檢測方法用于檢測工件的位置偏差，工件形成有第一標記及第二標記，檢測方法包括：判斷第一標記的第一目標位置與第二標記的第二目標位置，是否在沿第一方向延伸的同一直線上，第一方向與工件的運動方向相同；若否，利用第一相機采集第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集第二標記的第二圖像；若是，驅動工件和第一相機沿第一方向發生相對運動，利用第一相機采集第一標記的第一圖像及第二標記的第二圖像；及依據第一圖像及第二圖像檢測工件的位置偏差。本申請還公開了一種檢測設備。所有類型的工件都可以通過第一相機、或者第一相機及第二相機拍攝得到標記的圖像，檢測方法和檢測設備適用于所有標記分布類型的工件。

技術領域

本申請涉及工業檢測技術領域，特別涉及一種檢測方法及檢測設備。

背景技術

目前，在面板、晶圓等元件的自動光學檢測(Automated Optical Inspection,AOI)設備中，在對元件進行缺陷檢測前，需要對元件的擺放位置進行校正，以保證后續缺陷檢測的正常進行。校正元件的擺放位置前，需要先確定元件的位置偏差，而現在對于所有元件，確定元件的位置偏差的方法都是把元件運動至一個固定的位置，然后由固定的相機對元件上的標記進行拍攝。然而，如果換了不同類型的元件，標記的位置可能已經不同了，如果還是把元件驅動至該固定的位置，則無法再利用固定好的相機檢測元件的位置偏差，導致又需要重新對整個檢測設備進行調整，因此，需要提供對所有的標記分布類型的工件，都能夠檢測位置偏差的技術方案。

發明內容

本申請實施方式提供了一種檢測方法及檢測設備。

本申請實施方式的檢測方法用于檢測工件的位置偏差，所述工件形成有第一標記及第二標記，所述檢測方法包括：

判斷所述第一標記的第一目標位置與所述第二標記的第二目標位置，是否在沿第一方向延伸的同一直線上，所述第一方向與所述工件的運動方向相同；

若否，利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集所述第二標記的第二圖像；

若是，驅動所述工件和所述第一相機沿所述第一方向發生相對運動，利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像及所述第二標記的第二圖像；及

依據所述第一圖像及所述第二圖像檢測所述工件的位置偏差。

在某些實施方式中，所述利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集所述第二標記的第二圖像，包括：

驅動所述工件與所述第一相機、所述第二相機沿所述第一方向發生相對運動，利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集所述第二標記的第二圖像。

在某些實施方式中，驅動所述工件與所述第一相機、所述第二相機沿所述第一方向發生相對運動，利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集所述第二標記的第二圖像，包括：

驅動所述工件沿所述第一方向的正向運動，并經過所述第一相機的采集區域，利用所述第一相機采集所述第一圖像；及

驅動所述工件沿所述第一方向的負向運動，并經過所述第二相機的采集區域，利用所述第二相機采集所述第二圖像。

在某些實施方式中，在驅動所述工件沿所述第一方向的負向運動至所述第二相機的采集區域前，所述驅動所述工件與所述第一相機、所述第二相機沿所述第一方向發生相對運動，利用第一相機采集所述第一標記的第一圖像，及利用第二相機采集所述第二標記的第二圖像，還包括：

驅動所述第二相機沿第二方向運動至預設位置，其中，位于所述預設位置時，所述第二相機的采集區域對準所述第二目標位置所在的且沿所述第一方向延伸的直線，所述第二方向與所述第一方向不同。

在某些實施方式中，所述驅動所述工件沿所述第一方向的正向運動，并經過所述第一相機的采集區域，利用所述第一相機采集所述第一圖像，包括：