[發明專利]偏振光學元件的裝卡裝置及應用其的光譜儀

有效

• 申請號: 202110639730.6
• 申請日: 2021-06-08
• 公開（公告）號: CN113340423B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發明（設計）人: 劉雪璐;譚平恒
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01J3/44
• 分類號: G01J3/44;G01J3/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳夢圓

1.一種偏振光學元件的裝卡裝置，包括：

偏振光學元件；

至少一個可旋轉支架，與所述偏振光學元件連接，所述可旋轉支架帶動所述偏振光學元件繞所述偏振光學元件的軸線進行連續旋轉；

至少一個底座，所述底座第一端與所述可旋轉支架連接，所述底座與所述可旋轉支架對應設置；

連接固定板，與所述底座第二端固定連接；

其中，所述可旋轉支架包括：

固定底座，固連于所述底座上；

旋轉刻度盤，為圓環狀，所述旋轉刻度盤的中心圓孔適用于固定所述偏振光學元件，所述旋轉刻度盤與所述偏振光學元件同軸設置，所述旋轉刻度盤旋轉固定于所述固定底座上；

其中，所述底座第一端的第一側邊緣處設有限位凸起，所述限位凸起與所述可旋轉支架的所述固定底座抵靠，所述限位凸起適用于防止所述可旋轉支架相對于所述底座轉動。

2.根據權利要求1所述的一種偏振光學元件的裝卡裝置，其中，所述旋轉刻度盤的外緣上標有零刻度線，所述零刻度線與所述偏振光學元件的快軸方向或透振方向對齊。

3.根據權利要求1所述的一種偏振光學元件的裝卡裝置，其中，所述旋轉刻度盤的旋轉角度范圍為0°～360°。

4.根據權利要求1所述的一種偏振光學元件的裝卡裝置，其中，所述偏振光學元件為線偏振片、二分之一波片或四分之一波片中的一種。

5.根據權利要求1所述的一種偏振光學元件的裝卡裝置，其中，所述底座第一端的第二側設有對準參考位，所述對準參考位適用于作為所述旋轉刻度盤的轉動參考，確定所述旋轉刻度盤的旋轉角度。

6.根據權利要求1所述的一種偏振光學元件的裝卡裝置，其中，所述連接固定板底部設有第一連接部，所述第一連接部適用于與外部光譜儀固定連接。

7.一種光譜儀，包括：

顯微調焦裝置；

顯微物鏡，固定于顯微調焦裝置上；

如權利要求1至6中任一項所述的偏振光學元件的裝卡裝置，所述裝卡裝置的所述連接固定板固定于所述顯微調焦裝置上，所述裝卡裝置位于所述顯微物鏡上方的入射激光光路與散射信號光路的共同光路中。