[發明專利]防著板及其制備方法、蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202110636638.4
• 申請日: 2021-06-08
• 公開（公告）號: CN113373421B
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 魏振業;曾誠;陳立;張宏偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 陳敏;吳昊

本申請提供了一種防著板及其制備方法、蒸鍍設備，該防著板包括：基板以及覆蓋所述基板上表面的疏水疏油涂層；其中，所述基板包括：襯底；間隔設置于所述襯底上方的多個凸臺；其中，所述多個凸臺在所述襯底上方的排布密度沿預設方向逐漸增大；所述凸臺的尺寸以及任意相鄰兩個所述凸臺之間的間距均為微米級；所述疏水疏油涂層的厚度小于所述凸臺的厚度。該防著板通過凸臺排布密度的變化以及疏水疏油涂層的覆蓋，形成表面能梯度，使得熔融的蒸鍍材料可以從高表面能(凸臺排布密度小的)區域流向低表面能(凸臺排布密度大的)區域，從而實現定向流動，便于收集與回收蒸鍍材料，降低生產成本。

技術領域

本申請涉及蒸鍍技術領域，具體涉及一種防著板及其制備方法、蒸鍍設備。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)作為一種新型的純固體顯示技術，具備之前的技術優勢，并具有獨特的自發光、超輕薄、響應快、寬視角等優點被廣泛關注，OLED顯示技術已被廣泛的研究、生產。OLED顯示屏中有機發光層的制備，通常是采用真空蒸鍍技術，在蒸鍍腔室內，通過加熱坩堝中的蒸鍍材料，使其蒸發并沉積在目標面板上，但是工藝過程中，蒸發的蒸鍍材料只有極少數(2％左右)沉積在目標面板上，剩余的約98％的蒸鍍材料會沉積在蒸鍍腔室的腔壁上，不僅污染了蒸鍍腔室，而且造成大量的蒸鍍材料的浪費，增加了生產成本。

發明內容

針對上述問題，本申請提供了一種防著板及其制備方法、蒸鍍設備，解決了現有技術中大部分蒸鍍材料附著在了蒸鍍腔室內部的造成材料浪費、增加生產成本的技術問題。

第一方面，本申請提供一種防著板，包括基板以及覆蓋所述基板上表面的疏水疏油涂層；

其中，所述基板包括：

襯底；

間隔設置于所述襯底上方的多個凸臺；

其中，所述多個凸臺在所述襯底上方的排布密度沿預設方向逐漸增大；所述凸臺的尺寸以及任意相鄰兩個所述凸臺之間的間距均為微米級；所述疏水疏油涂層的厚度小于所述凸臺的厚度。

在一些實施例中，上述防著板中，所述多個凸臺呈陣列排布。

在一些實施例中，上述防著板中，所述疏水疏油涂層的材料包括含氟聚合物和分散于所述含氟聚合物中的納米微球。

在一些實施例中，上述防著板中，所述疏水疏油涂層包括依次層疊設置于所述基板上表面的第一功能層和第二功能層；

其中，所述第一功能層中所述納米微球的質量百分比小于所述第二功能層中所述納米微球的質量百分比。

在一些實施例中，上述防著板中，所述第二功能層中，所述納米微球的質量百分比為15％至50％。

在一些實施例中，上述防著板中，所述納米微球至少包括納米三氧化二鋁、納米二氧化硅和納米碳管中的一種。

在一些實施例中，上述防著板中，所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亞苯基硫醚。

在一些實施例中，上述防著板中，所述疏水疏油涂層上表面對水的接觸角大于150°，對油的接觸角大于150°。

第二方面，本申請提供一種防著板的制備方法，包括：

提供基板；其中，所述基板包括襯底以及間隔設置于所述襯底上方的多個凸臺；所述多個凸臺在所述襯底上方的排布密度沿預設方向逐漸減大；所述凸臺的尺寸以及任意相鄰兩個所述凸臺之間的間距均為微米級；

對所述基板的上表面進行活化處理，得到活化的所述基板；

形成疏水疏油前驅體；