[發明專利]顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用方法及裝置

在審

• 申請號: 202110632609.0
• 申請日: 2021-06-07
• 公開（公告）號: CN113415934A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 王金城;隋希之;喬正收
• 申請（專利權）人: 鎮江潤晶高純化工科技股份有限公司
• 主分類號: C02F9/10
• 分類號: C02F9/10;C07C209/84;C07C211/63
• 代理公司: 上海創開專利代理事務所(普通合伙) 31374
• 代理人: 謝偉峰

1.顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，包括：顯影液廢液槽(1)和納濾裝置(3)，所述顯影液廢液槽(1)和第一過濾裝置(2)一端連接，所述納濾裝置(3)和第一過濾裝置(2)另一端連接，所述納濾裝置(3)滲透側接口連接第一調節槽(4)，所述納濾裝置(3)濃縮側接口連接第二調節槽(5)，所述第二調節槽(5)出口與第二過濾裝置(6)進口連接，所述第二過濾裝置(6)和第一調節槽(4)進口連接，所述第一調節槽(4)出口連接蒸發濃縮裝置(7)進口，所述蒸發濃縮裝置(7)出口和陽離子交換樹脂柱(8)裝置進口連接，所述陽離子交換樹脂柱(8)裝置出口與陰離子交換樹脂柱(9)進口連接，所述陰離子交換樹脂柱(9)出口與純凈TMAH儲罐(10)連接。

2.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述第一過濾裝置(2)為普通微濾或陶瓷過濾器，所述第二過濾裝置(6)為普通微濾或陶瓷過濾器或離心過濾器中的一種，所述第一過濾裝置(2)為廢液預過濾裝置。

3.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述納濾裝置(3)為一級或多級管式高耐堿性納濾裝置，所述納濾裝置(3)為廢料初步分離裝置。

4.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述顯影液廢液槽(1)為接收儲存的待回收顯影廢液，廢液中包含TMAH、光阻劑、金屬離子、固體顆粒等物質。

5.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述第一調節槽(4)為四甲基氫氧化銨溶液pH調節槽所述第二調節槽(5)為光阻劑沉淀槽第一調節槽(4)為四甲基氫氧化銨pH調節裝置所述第二調節槽(5)為納濾二次廢液收集及光阻劑吸附沉淀裝置。

6.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述蒸發濃縮裝置(7)為MVR蒸發器。

7.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述陽離子交換樹脂柱(8)為螯合樹脂、大孔型強酸性離子交換樹脂和凝膠型強酸性離子交換樹脂中的一種或幾種組合。

8.根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置，其特征在于，所述陰離子交換樹脂柱(9)為氫氧根型陰離子交換樹脂柱。

根據權利要求1所述的顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用裝置,其特征在于：所述第二過濾裝置(6)為四甲基銨鹽水溶液與光阻劑固液分離裝置，所述蒸發濃縮裝置(7)為MVR四甲基銨鹽水溶液提濃裝置，包括蒸發器(11)，加熱器(12)，預熱器(13)和壓縮機(14)，所述陰離子交換樹脂柱(9)填充氫氧根型陰離子交換樹脂柱。

9.所述顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一，接收顯影廢液；

步驟二，通過預過濾初步去除顯影廢液中固體顆粒雜質；

步驟三，通過高耐堿性納濾裝置去除顯影廢液中光阻劑雜質，滲透側輸入第一調節槽儲槽；

步驟四，將步驟三中納濾裝置濃縮側廢液收集后加入酸性氣體或酸性溶液調節pH,同時加入吸附劑吸附析出的光阻劑；

步驟五，將步驟四中獲得的四甲基銨鹽溶液和光阻劑沉淀物進行過濾,得到四甲基銨鹽水溶液粗品輸入第一調節槽儲槽；

步驟六，將步驟三和步驟五獲得的混合水溶液，加入酸性氣體或酸性溶液調節pH,將四甲基氫氧化銨溶液完全轉化為四甲基銨鹽溶液并調整pH至弱酸性；

步驟七，將步驟六第一調節槽內調整好的四甲基銨鹽水溶液通過蒸發濃縮MVR裝置將含量提升至合適濃度要求；

步驟八，將步驟七獲得的四甲基銨鹽溶液通過陽離子交換樹脂柱去除金屬離子雜質的到純凈的四甲基銨鹽溶液；

步驟九，將步驟八獲得的純凈四甲基銨鹽溶液通過陰離子交換樹脂柱轉化為純凈的四甲基氫氧化銨溶液。