[發明專利]含有具有可變折射率的材料的可調諧光柵耦合器

在審

• 申請號: 202110631703.4
• 申請日: 2021-06-07
• 公開（公告）號: CN113917604A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 卞宇生
• 申請（專利權）人: 格芯（美國）集成電路科技有限公司
• 主分類號: G02B6/124
• 分類號: G02B6/124;G02B6/136
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種結構，包括：

平板層；以及

光柵耦合器，包括在該平板層上以間隔關系定位的多個片段，該多個片段由活性材料組成，該活性材料經配置以響應施加刺激而具有第一狀態以及第二狀態，該第一狀態具有第一折射率，該第二狀態具有第二折射率。

2.如權利要求1所述的結構，還包括：

介電層，位于該平板層及該多個片段上方；

多個第一接觸件，位于該介電層中，各該多個第一接觸件與該多個片段的其中之一耦接；以及

第二接觸件，位于該介電層中，該第二接觸件與該平板層耦接。

3.如權利要求1所述的結構，其中，該活性材料為導電氧化物。

4.如權利要求1所述的結構，其中，該活性材料為相變材料。

5.如權利要求1所述的結構，其中，該活性材料為二維材料或聚合物。

6.如權利要求1所述的結構，還包括：

波導芯，與該光柵耦合器耦接，

其中，該平板層與該波導芯整合。

7.如權利要求1所述的結構，其中，該平板層具有錐形形狀，且該多個片段具有不同的長度。

8.如權利要求1所述的結構，還包括：

波導芯，與該光柵耦合器耦接，

其中，該平板層不同于該波導芯。

9.如權利要求8所述的結構，其中，該波導芯由介電材料組成，且該平板層由導體組成。

10.如權利要求1所述的結構，其中，該多個片段以多行設置，且各該多行含有該多個片段的其中不止一個。

11.如權利要求10所述的結構，其中，該平板層具有錐形形狀，且該多行含有不同數目的該多個片段。

12.如權利要求1所述的結構，還包括：

介電層，定位于該多個片段與該平板層之間的該平板層上。

13.如權利要求1所述的結構，還包括：

導體層，定位于該多個片段與該平板層之間的該平板層上。

14.如權利要求1所述的結構，還包括：

加熱器，定位成鄰近該多個片段。

15.一種方法，包括：

形成平板層；以及

形成包括在該平板層上以間隔關系定位的多個片段的光柵耦合器，

其中，該多個片段由活性材料組成，該活性材料經配置以響應施加刺激而具有第一狀態以及第二狀態，該第一狀態具有第一折射率，該第二狀態具有第二折射率。

16.如權利要求15所述的方法，其中，形成包括在該平板層上以該間隔關系定位的該多個片段的該光柵耦合器包括：

沉積該活性材料的層；以及

利用光刻及蝕刻制程圖案化該層。

17.如權利要求15所述的方法，其中，該活性材料為導電氧化物。

18.如權利要求15所述的方法，還包括：

在該平板層上形成介電層，

其中，該介電層定位于該多個片段與該平板層之間。

19.如權利要求15所述的方法，還包括：

在該平板層上形成導體層，

其中，該導體層定位于該多個片段與該平板層之間。

20.如權利要求15所述的方法，還包括：

在該平板層及該多個片段上方沉積介電層；

在該介電層中形成多個第一接觸件以及第二接觸件，

其中，各該多個第一接觸件與該多個片段的其中之一耦接，且該第二接觸件與該平板層耦接。