[發(fā)明專利]聚酰亞胺正型光阻組成物及其用途

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110628509.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114326301A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林伯南;林詣婕;黎振立;葉子瑭;周乃天;黃新義;林昭文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣永光化學(xué)工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 鄢功軍

本發(fā)明提供一種聚酰亞胺正型光阻組成物，包括：一樹(shù)脂成分；一交聯(lián)劑；一感光劑；以及一溶劑。其中，樹(shù)脂成分包括：30wt％至90wt％之聚酰亞胺樹(shù)脂；1wt％至60wt％之雙酚類樹(shù)脂；以及0.1wt％至10wt％之聚硅烷樹(shù)脂。本發(fā)明還提供前述光阻組成物的用途。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于聚酰亞胺正型光阻組成物，涉及一種以其制備的光阻膜具有良好耐濕性或絕緣層側(cè)壁傾斜角度的聚酰亞胺正型光阻組成物。

背景技術(shù)

在電子裝置(例如，功率元件、顯示裝置、觸控裝置、半導(dǎo)體裝置)的制備過(guò)程中，向來(lái)以正型或負(fù)型等各種光阻組成物作為材料，并利用其感光特性進(jìn)行圖案化以及硬化該些光阻組成物以形成鈍化層、保護(hù)層、或絕緣層等構(gòu)件。

在有機(jī)發(fā)光二極體(OLED)裝置中，聚酰亞胺(PI)絕緣層形成在有機(jī)發(fā)光二極體上，除了用于在有機(jī)發(fā)光材料上方定義出一畫素而形成畫素的形狀外，更能使各個(gè)畫素皆以獨(dú)立的電性驅(qū)動(dòng)。聚酰亞胺為一種透過(guò)雙酐與雙胺進(jìn)行聚合縮合反應(yīng)，形成骨架中具有雜酰亞胺環(huán)的聚合物。目前已知的酚醛樹(shù)脂類的光阻組成物，其阻水氣特性較差；而目前已知的聚酰亞胺類的光阻組成物，則具有較高反應(yīng)溫度。

因此，亟須提出一種改良的光阻組成物，其除了具有低溫固化的特性外，還具有良好的阻水氣特性，以消除或緩和上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種聚酰亞胺正型光阻組成物，其除了可在低溫固化外，還可提供一低錐角或具有耐濕性的絕緣層。

本發(fā)明的聚酰亞胺正型光阻組成物，包括：一樹(shù)脂成分；一交聯(lián)劑；一感光劑；以及一溶劑。其中，樹(shù)脂成分包括：30wt％至90wt％的聚酰亞胺樹(shù)脂；1wt％至60wt％的雙酚類樹(shù)脂；以及0.1wt％至10wt％的聚硅烷樹(shù)脂。

在本發(fā)明的聚酰亞胺正型光阻組成物，由于樹(shù)脂成分包含有聚酰亞胺樹(shù)脂、雙酚類樹(shù)脂及聚硅烷樹(shù)脂，相較于聚酰亞胺樹(shù)脂本身，本發(fā)明的聚酰亞胺正型光阻組成物具有較低的固化溫度；且相較于酚醛樹(shù)脂本身，本發(fā)明的聚酰亞胺正型光阻組成物具有較佳的耐濕性及阻水氣特性。除此之外，在本發(fā)明的聚酰亞胺正型光阻組成物中，通過(guò)添加適量的聚硅烷樹(shù)脂，相較于未添加有聚硅烷樹(shù)脂的聚酰亞胺正型光阻組成物，也可展現(xiàn)較好的耐濕性及阻水氣特性。

在本發(fā)明的組成物中，以聚酰亞胺正型光阻組成物的總重量為基準(zhǔn)，樹(shù)脂成分的含量可介于1wt％至50wt％之間，交聯(lián)劑的含量可介于1wt％至20wt％之間，感光劑的含量可介于0.05wt％至20wt％之間，而余量為溶劑。

在本發(fā)明的組成物中，以聚酰亞胺正型光阻組成物的總重量為基準(zhǔn)，樹(shù)脂成分的含量可介于1wt％至50wt％之間。例如，樹(shù)脂成分的含量可介于5wt％至40wt％之間，或介于10wt％至30wt％之間。

在本發(fā)明的組成物中，以聚酰亞胺距型光阻組成物的總重量為基準(zhǔn)，交聯(lián)劑的含量可介于1wt％至20wt％之間。例如，交聯(lián)劑的含量可介于3wt％至15wt％之間，或介于4wt％至10wt％之間。

在本發(fā)明的組成物中，以聚酰亞胺正型光阻組成物的總重量為基準(zhǔn)，感光劑的含量可介于0.05wt％至20wt％之間。例如，感光劑的含量可介于1wt％至15wt％之間，介于1wt％至10wt％之間，或介于3wt％至7wt％之間。

在本發(fā)明的組成物中，以樹(shù)脂成分的總重量為基準(zhǔn)，聚酰亞胺樹(shù)脂的含量可介于30wt％至90wt％之間，雙酚類樹(shù)脂的含量可介于1wt％至60wt％之間，而聚硅烷樹(shù)脂的含量可介于0.1wt％至10wt％之間。

在本發(fā)明的組成物中，以樹(shù)脂成分的總重量為基準(zhǔn)，聚酰亞胺樹(shù)脂的含量可介于30wt％至90wt％之間。例如，聚酰亞胺樹(shù)脂的含量可介于30wt％至80wt％之間、30wt％至70wt％之間或30wt％至65wt％之間。