[發(fā)明專利]一種用于芯片失效分析的圖像采集方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110628400.7
• 申請日: 2021-06-07
• 公開（公告）號: CN113259591B
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尚躍;李欣
• 申請（專利權(quán)）人: 上海聚躍檢測技術(shù)有限公司
• 主分類號: H04N5/232
• 分類號: H04N5/232
• 代理公司: 上海金盛協(xié)力知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31242
• 代理人: 嚴(yán)帥

1.一種用于芯片失效分析的圖像采集方法，其特征在于，該方法包括：通過上位機上運行的應(yīng)用程序控制金相顯微鏡機臺或掃描電鏡機臺載物臺上的芯片按照預(yù)設(shè)的參數(shù)移動，并在其移動過程控制金相顯微鏡機臺或掃描電鏡機臺的相機對該芯片的不同部位進行持續(xù)拍攝、自動保存拍攝所得的圖像；所述應(yīng)用程序通過調(diào)用金相顯微鏡機臺或掃描電鏡機臺提供的通信接口與該金相顯微鏡機臺或掃描電鏡機臺建立連接后，在以所述載物臺的某個位置點作為原點建立的平面直角坐標(biāo)系中，根據(jù)用戶設(shè)置的圖像采集時芯片的起始點位置坐標(biāo)和終點位置坐標(biāo)、以及每張照片能夠拍攝到x軸的尺寸、y軸方向的尺寸來確定需要拍攝照片的數(shù)量；調(diào)用控制所述載物臺的編程接口根據(jù)用戶設(shè)置的移動步進量、移動路徑控制芯片在所述載物臺上進行移動，并結(jié)合控制所述相機的編程接口在所述移動過程中基于用戶設(shè)置的拍照倍率對該芯片進行拍攝并保存所述數(shù)量的照片，在進行圖像采集之前，將所述金相顯微鏡機臺或掃描電鏡機臺的顯示倍率設(shè)置成與所述拍照倍率相同；

所述移動步進量為該平面直角坐標(biāo)系下包括x軸方向上的移動步進量S_x、y軸方向上的移動步進量S_y的二維矢量；所述移動路徑包括逐行移動以及逐列移動；

采用以下公式計算得到需要拍攝照片的張數(shù)：

其中、[]為取整運算符，N_y為y軸方向上需要拍攝的照片的數(shù)量、y_E為所述終點位置的y軸坐標(biāo)值、y_s為所述起始點位置的y軸坐標(biāo)值、Y為每張照片能夠拍攝到y(tǒng)軸的尺寸，N_X為x軸方向上需要拍攝的照片的數(shù)量、x_E為所述終點位置的x軸坐標(biāo)值、x_s為所述起始點位置的x軸坐標(biāo)值、X為每張照片能夠拍攝到x軸的尺寸；

所述根據(jù)用戶設(shè)置的移動步進量、移動路徑控制芯片在所述載物臺上進行移動，并在所述移動過程中基于用戶設(shè)置的拍照倍率對該芯片進行拍攝并保存所述數(shù)量的照片，包括：

A.將芯片置于所述起始點位置處，采用以下公式計算出每次拍攝時芯片在x方向上的移動步數(shù)Num_x和y軸方向上的移動步數(shù)Num_y：

B.控制芯片按照所述移動步進量、移動路徑在所述載物臺上進行移動；

分別對所述芯片在x軸、y軸方向上的移動步數(shù)進行計數(shù)，當(dāng)x軸對應(yīng)的移動步數(shù)達到所述移動步數(shù)Num_x時，對應(yīng)的計數(shù)器清零、暫停所述芯片的移動，同時控制所述相機對其進行一次拍攝、保存拍攝得到的照片；當(dāng)Y軸對應(yīng)的移動步數(shù)達到所述移動步數(shù)Num_y時，對應(yīng)的計數(shù)器清零、暫停所述芯片的移動，同時控制所述相機對其進行一次拍攝、保存拍攝得到的照片；

C.判斷所述芯片是否移動到所述終點位置/所述已保存照片張數(shù)是否為所述需要拍攝照片的張數(shù)；若是、則繼續(xù)執(zhí)行步驟B，否則、關(guān)閉所述應(yīng)用程序，結(jié)束整個圖像采集過程。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：由用戶選擇自動或手動觸發(fā)開始整個圖像采集過程；在每次對所述芯片拍攝前，對所述相機進行自動聚焦使其獲得的所述的芯片圖像達到預(yù)設(shè)的清晰度。