[發(fā)明專利]計算系統(tǒng)、計算方法和氣體輸送裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110625782.8
• 申請日: 2021-06-04
• 公開（公告）號: CN113836782A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 愛德華·科西亞迪弗羅
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G06F30/27
• 分類號: G06F30/27;G06K9/62;G01D21/02;G06F113/08;G06F119/08
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 王新春;曹正建

本發(fā)明提供了一種計算系統(tǒng)、一種計算方法和一種氣體輸送裝置，所述計算系統(tǒng)包括：處理器和存儲可執(zhí)行指令的非易失性存儲器，該指令響應(yīng)于處理器的執(zhí)行而使處理器：接收包括監(jiān)測的氣體輸送過程的傳感器信息和/或閥位置信息的監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)；接收包括最佳氣體輸送過程的傳感器信息和/或閥位置信息的最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)；以及執(zhí)行包括至少一個人工智能模型的判別式分類器，判別式分類器被配置成：提取監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)的特征；提取最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)的特征；基于監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)的提取特征和最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)的提取特征來計算監(jiān)測的氣體輸送過程的相似性值；以及輸出相似性值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具有用于判定監(jiān)測的氣體輸送過程的相似性的判別式分類器的計算系統(tǒng)、計算方法和氣體輸送裝置。

背景技術(shù)

在用于在半導(dǎo)體制造中供應(yīng)各種氣體的氣體輸送系統(tǒng)的裝置中，多個氣體供應(yīng)通道可以流動不同的氣體，以使這些氣體混合并被供應(yīng)用于各種制造過程。為每個氣體供應(yīng)通道提供質(zhì)量流量控制器，以調(diào)節(jié)氣體的流量。

在一些氣體輸送系統(tǒng)中，質(zhì)量流量控制器可以全部通過網(wǎng)絡(luò)連接到中央控制單元，該中央控制單元通過網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程地向質(zhì)量流量控制器發(fā)送命令并請求過程數(shù)據(jù)。每個質(zhì)量流量控制器都與通過網(wǎng)絡(luò)從中央控制單元發(fā)送的命令同步地與中央控制單元一起維持它們自己的控制回路。通過本地計算機網(wǎng)絡(luò)向質(zhì)量流量控制器發(fā)送順序的流量命令和設(shè)定來完成預(yù)定義的氣體輸送過程，該氣體輸送過程包括將各種流量和壓力下的一種或多種氣體順序輸送到下游設(shè)備(例如，半導(dǎo)體工藝室)。控制單元從每個質(zhì)量流量控制器接收反饋，使用該反饋來對每個質(zhì)量流量控制器進行反饋控制，并記錄實際的氣體輸送過程以確保質(zhì)量。然而，對于高精度控制，隨著傳感器分辨率的提高和數(shù)據(jù)流的變大，控制單元可能難以實現(xiàn)從單個質(zhì)量流量控制器上的傳感器和處理器對數(shù)據(jù)進行實時數(shù)據(jù)獲取，特別是在本地計算機網(wǎng)絡(luò)容量和帶寬受到限制的情況下。此外，即使控制單元獲取了這些數(shù)據(jù)，也難以監(jiān)測氣體輸送系統(tǒng)的目標(biāo)過程(即，實時發(fā)生的當(dāng)前過程或過去執(zhí)行并且后來再進行分析的過程)與理想化過程定義的細(xì)微偏差。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本公開的一個方面，提供了一種氣體輸送裝置，其包括：多個閥和傳感器；處理器，其可操作地連接到所述多個閥和傳感器；和非易失性存儲器，其可操作地連接到所述處理器并存儲監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)、最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)和判別式分類器。所述非易失性存儲器存儲可執(zhí)行指令，所述指令響應(yīng)于所述處理器的執(zhí)行而使所述處理器：接收所述監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)，所述監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)包括所述監(jiān)測的氣體輸送過程的傳感器信息和/或閥位置信息；接收所述最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)，所述最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)包括所述最佳氣體輸送過程的傳感器信息和/或閥位置信息；以及執(zhí)行包括至少一個人工智能模型的所述判別式分類器，所述判別式分類器被配置成：提取所述監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)的特征；提取所述最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)的特征；基于所述監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)的提取特征和所述最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)的提取特征來計算所述監(jiān)測的氣體輸送過程的相似性值；以及輸出所述相似性值。

提供本發(fā)明內(nèi)容是為了以簡化的形式介紹將在下面的具體實施方式部分進一步說明的一系列構(gòu)思。本發(fā)明內(nèi)容既不旨在確定所要求保護的主題的關(guān)鍵特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求保護的主題的范圍。此外，所要求保護的主題不限于解決在本公開的任意部分中指出的任何缺點或所有缺點的實施方式。

附圖說明

圖1示出了根據(jù)本公開的一個示例的氣體輸送系統(tǒng)的示意圖。

圖2示出了根據(jù)圖1的氣體輸送系統(tǒng)的一個示例的關(guān)于流量控制電路的數(shù)據(jù)和控制信號的流動的示意圖。

圖3示出了根據(jù)圖1的氣體輸送系統(tǒng)的一個示例的監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)和最佳氣體輸送過程數(shù)據(jù)的示例。

圖4示出了根據(jù)圖1的氣體輸送系統(tǒng)的一個示例的體現(xiàn)為三維陣列的監(jiān)測的氣體輸送過程數(shù)據(jù)的示例。