[發明專利]一種基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置

在審

• 申請號: 202110625557.4
• 申請日: 2021-06-04
• 公開（公告）號: CN113566844A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 楊浩;李紹良;慕蓉欣;榮義杰;蔣輝;應俊
• 申請（專利權）人: 上海航天控制技術研究所
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 完增榮;張雙紅

1.一種基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置包括：

基準平臺，其中，垂直于所述基準平臺的方向為第一方向；

電極基座，安裝在所述基準平臺上，該電極基板具有孔；

叉指電極，覆蓋于所述電極基座上；

電路板，覆蓋于所述電極基座上；

引線，用于連接所述叉指電極和所述電路板；

位移及轉動裝置，其可在所述第一方向上伸縮和轉動以及在所述基準平臺上平移；當使用該檢測裝置檢測待檢測的諧振子的動力學參數時，將該待檢測的諧振子安裝在所述位移及轉動裝置上，通過所述位移及轉動裝置調節該待檢測的諧振子與所述叉指電極之間的相對位置。

2.如權利要求1所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，該待檢測的諧振子為半球諧振子，該待檢測的諧振子包括：

振動球殼，具有唇沿；

支撐柱，與所述振動球殼連接；

當該待檢測的諧振子安裝在所述位移及轉動裝置上時，所述支撐柱所在的方向與所述第一方向平行或垂直，且所述唇沿可與所述電極基座完全貼合。

3.如權利要求1所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，所述位移及轉動裝置包括：

XYZ位移臺，其可在所述第一方向上伸縮以及在所述基準平臺上平移；

轉臺，安裝在所述XYZ位移臺上，所述轉臺可沿著所述第一方向上伸縮。

4.如權利要求3所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置還包括：

夾具，安裝在所述轉臺上，該夾具用于固定待檢測的諧振子。

5.如權利要求1所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，所述叉指電極的數量為至少四個。

6.如權利要求5所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，所述叉指電極的數量為四個，一個位于0°方位，另外三個分為位于45°、180°和225°方位。

7.如權利要求1所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，所述電路板包括至少兩路緩沖放大回路、至少兩路驅動回路以及至少一路直流高壓回路。

8.如權利要求1所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置還包括：

連接桿，所述電極基座通過所述連接桿安裝在所述基準平臺上。

9.如權利要求9所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置，其特征在于，所述電極基座和所述電路板通過所述連接桿固定。

10.一種基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測方法，其特征在于，該檢測方法應用如權利要求1至9中任一項所述的基于叉指電極的諧振子動力學參數檢測裝置；該檢測方法具體包括：

將諧振子裝夾在夾具上，此時唇沿與電極基板完全貼合；

調節Z位移臺，使諧振子的唇沿與叉指電極間形成間隙；

調節XY位移臺，使諧振子的中心與叉指電極的中心重合；

電路板上通電，驅動和檢測回路啟用；

將諧振子激勵至固定幅值，駐波方位指向0°方位后，斷開幅度驅動回路，保留正交控制回路；獲得諧振子的衰減曲線；通過該衰減曲線即可得到諧振子在該方位上的Q值；

旋轉諧振子，重復上述步驟，獲得不同方位的諧振子Q值，直至旋轉了360°后，測量出諧振子的Q值不均勻性。