[發明專利]激光偏振合束測量裝置

有效

• 申請號: 202110621728.6
• 申請日: 2021-06-03
• 公開（公告）號: CN113310670B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 郭廣妍;麻云鳳;程旺;白芳;趙鵬;宮學程;廖麗芬;張思楠;殷晨軒;林蔚然;樊仲維
• 申請（專利權）人: 中國科學院空天信息創新研究院
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周天宇

1.一種激光偏振合束測量裝置，其特征在于，包括第一光源(LS1)、第二光源(LS2)、第一半波片(HW1)、第二半波片(HW2)、第一檢偏器(P1)、第二檢偏器(P2)、第一反射鏡(RM1)、第二反射鏡(RM2)、第三反射鏡(RM3)、第四反射鏡(RM4)、第五反射鏡(RM5)、第六反射鏡(RM6)、第一光束調節模塊(LA1)、第二光束調節模塊(LA2)、偏振合束鏡(BC)、取樣鏡(SP)、第一檢測器(PD1)和第二檢測器(PD2)，其中：

所述第一光源(LS1)的出射激光依次經過第一檢偏器(P1)、第五反射鏡(RM5)和第六反射鏡(RM6)的光路反射偏轉后被引導至偏振合束鏡(BC)；

所述第二光源(LS2)的出射激光依次經過第一反射鏡(RM1)、第二反射鏡(RM2)、第三反射鏡(RM3)和第四反射鏡(RM4)的光路反射偏轉后被引導至偏振合束鏡(BC)；

所述第一光束調節模塊(LA1)設置于第六反射鏡(RM6)與偏振合束鏡(BC)之間，用于調節第一光源(LS1)的反射光束的發散角和光斑尺寸；所述第二光束調節模塊(LA2)設置于第四反射鏡(RM4)與偏振合束鏡(BC)之間，用于調節第二光源(LS2)的反射光束的發散角和光斑尺寸，其中，所述第一光束調節模塊(LA1)和第二光束調節模塊(LA2)均為可調的低倍擴束鏡，通過調節低倍擴束鏡內的透鏡間距實現合束前單激光束的光斑尺寸與發散角的一致性調節；

所述第一半波片(HW1)和第二半波片(HW2)用于分別將第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的出射光束轉換為兩正交偏振態激光，所述偏振合束鏡(BC)用于將所述兩正交偏振態激光進行合束，輸出合束激光；

所述取樣鏡(SP)設置于偏振合束鏡(BC)的出射光路上，用于將所述合束激光切分為反射子光束和透射子光束，所述第一檢測器(PD1)和第二檢測器(PD2)用于檢測所述反射子光束和透射子光束分別對應的遠場和近場光斑重合度；

其中，所述第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的出光口方向一致且相互錯開，所述第一光源(LS1)和第二光源(LS2)均出射線偏振激光。

2.根據權利要求1所述的激光偏振合束測量裝置，其特征在于，所述第一半波片(HW1)設置于第一光源(LS1)與第一檢偏器(P1)之間，用于將所述第一光源(LS1)的出射激光轉換為P偏振光；

所述第二半波片(HW2)設置于第一反射鏡(RM1)與第二反射鏡(RM2)之間，用于將第二光源(LS2)的出射激光轉換為S偏振光。

3.根據權利要求1所述的激光偏振合束測量裝置，其特征在于，所述第一檢偏器(P1)用于檢測第一光源(LS1)的出射激光經過轉換后的激光偏振態；

所述第二檢偏器(P2)設置于第二半波片(HW2)與第二反射鏡(RM2)之間，用于檢測第二光源(LS2)的出射激光經過轉換后的激光偏振態。

4.根據權利要求1所述的激光偏振合束測量裝置，其特征在于，所述激光偏振合束測量裝置還包括第一光阱(LT1)和第二光阱(LT2)，分別設置于第一檢偏器(P1)和第二檢偏器(P2)的反射面上，所述第一光阱(LT1)和第二光阱(LT2)分別用于吸收由于第一光源(LS1)和第二光源(LS2)的低線性度引起的雜散光。

5.根據權利要求1所述的激光偏振合束測量裝置，其特征在于，所述激光偏振合束測量裝置還包括激光功率計或激光能量計，分別設置于第一檢偏器(P1)的透射面和第二檢偏器(P2)的反射面上，所述激光功率計或激光能量計分別用于檢測所述第一檢偏器(P1)透射和第二檢偏器(P2)反射的激光功率或能量。

6.根據權利要求1所述的激光偏振合束測量裝置，其特征在于，所述第一反射鏡(RM1)、第二反射鏡(RM2)、第三反射鏡(RM3)、第四反射鏡(RM4)、第五反射鏡(RM5)和第六反射鏡(RM6)均為45°全反鏡，所述第三反射鏡(RM3)、第四反射鏡(RM4)、第五反射鏡(RM5)和第六反射鏡(RM6)安裝于可調鏡架上，所述可調鏡架用于調節光束指向。