[發明專利]半導體工藝設備的檢測裝置

有效

• 申請號: 202110621566.6
• 申請日: 2021-06-03
• 公開（公告）號: CN113218274B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發明（設計）人: 許璐;趙宏宇
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種半導體工藝設備的檢測裝置，用于對所述半導體工藝設備的卡盤的裝配狀態進行檢測，其特征在于，包括：承載機構、第一檢測機構及第一指針機構；

所述承載機構包括承載件及連接件，所述連接件與所述卡盤的旋轉軸滑動配合，使所述承載機構能安裝于所述卡盤上，且不跟隨所述卡盤旋轉；

所述第一檢測機構包括檢測桿和樞轉軸，所述檢測桿通過所述樞轉軸與所述承載件樞轉連接，且沿所述承載機構的徑向延伸設置，所述承載機構安裝于所述卡盤上時，所述第一檢測機構始終與所述卡盤的上表面接觸，且隨所述上表面的起伏而轉動；

所述第一指針機構與所述第一檢測機構連接，用于指示所述第一檢測機構的轉動量；

所述檢測裝置還包括：第二檢測機構及第二指針機構；

所述第二檢測機構滑動設置于所述承載機構內，沿所述承載機構的徑向延伸設置，且能沿所述承載機構的徑向滑動，所述承載機構安裝于所述卡盤上時，所述第二檢測機構始終與所述卡盤的外周面接觸，且隨所述外周面的起伏而滑動；

所述第二指針機構與所述第二檢測機構連接，用于指示所述第二檢測機構的滑動量。

2.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述承載件設置于所述連接件的頂部，所述連接件用于插入所述卡盤的旋轉軸中，使所述承載機構不跟隨所述卡盤旋轉。

3.如權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述承載件自上至下依次開設第一安裝部及第二安裝部，所述第一安裝部及所述第二安裝部延伸方向相同且平行設置，所述第一檢測機構及所述第二檢測機構依次設置于所述第一安裝部及所述第二安裝部內。

4.如權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一檢測機構還包括有檢測柱及預緊結構，所述檢測桿的第一端位于所述第一安裝部內，所述檢測桿的第二端設置有所述檢測柱；所述預緊結構設置于所述第二安裝部的底面，用于對所述檢測桿的第一端施加預緊力，以使所述檢測柱始終與所述卡盤的上表面接觸；所述樞轉軸穿設于所述檢測桿上，位于所述預緊結構及所述檢測柱的之間。

5.如權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一檢測機構還包括定位銷，所述定位銷能選擇性地穿設于所述檢測桿和所述承載件上，以限制所述檢測桿轉動，所述定位銷位于所述預緊結構及所述樞轉軸之間。

6.如權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，所述預緊結構包括彈性件，所述第二安裝部的底面設置有限位孔，所述彈性件的底部設置于所述限位孔內，頂部與所述檢測桿的第一端連接，用于向所述檢測桿的第一端施加向上的預緊力。

7.如權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述第二檢測機構包括檢測板、檢測組件及預緊組件，所述檢測板的第一端滑動設置于所述第二安裝部內，并且所述檢測板與所述第一檢測機構對應的位置開設有避讓缺口，所述檢測板的第二端設置有所述檢測組件；所述預緊組件的一端與所述檢測板的連接，另一端與所述承載件連接，用于向所述檢測板施加一預緊力，使所述檢測組件始終與所述卡盤的外周面接觸。

8.如權利要求7所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測組件包括檢測件及中心軸，所述檢測件通過所述中心軸安裝于所述檢測板第二端的底部，所述檢測件能相對所述中心軸自旋轉，所述檢測件的外周用于與所述卡盤的外周面滾動接觸。

9.如權利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，所述預緊組件包括伸縮件，所述承載件和所述檢測板上均設置有連接柱，所述伸縮件的兩端分別與所述承載件上的連接柱和所述檢測板上的連接柱連接。