[發明專利]一種基于電子動態調控的金屬納米網的制備方法

有效

• 申請號: 202110619429.9
• 申請日: 2021-06-03
• 公開（公告）號: CN113210873B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 姜瀾;劉威;胡潔;邱兆嶺;柳海林
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: B23K26/352
• 分類號: B23K26/352;B23K26/064
• 代理公司: 北京正陽理工知識產權代理事務所(普通合伙) 11639
• 代理人: 鄔曉楠

1.一種基于電子動態調控的金屬納米網狀結構的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一：將飛秒激光單脈沖經過邁克遜干涉儀與四分之一波片的組合光路轉變為偏振方向互相垂直的飛秒激光雙脈沖序列，然后調整飛秒激光雙脈沖兩個子脈沖能量相等，同時雙脈沖總能量密度調整到待加工金屬材料的燒蝕閾值的0.9倍至0.99倍的范圍內；然后調節邁克爾遜干涉儀光路的一臂，使得飛秒激光雙脈沖的脈沖延遲在4ps-9ps的范圍內；

步驟二：將步驟一中得到的飛秒激光雙脈沖序列通過光學透鏡垂直聚焦到待加工金屬材料的表面，控制待加工金屬材料以設定的移動速度運動，即可在金屬表面得到金屬納米網狀結構。

2.如權利要求1所述的基于電子動態調控的金屬納米網狀結構的制備方法，其特征在于：所述步驟一產生偏振方向互相垂直的飛秒激光雙脈沖序列過程中，四分之一波片的光軸與激光的偏振方向的夾角為45°。

3.如權利要求1所述的基于電子動態調控的金屬納米網狀結構的制備方法，其特征在于：所述步驟二中，當使用的聚焦透鏡為焦距為100mm的平凸透鏡時，激光重復頻率為1000Hz，待加工金屬材料的移動速度為200-500μm/s。

4.實現如權利要求1至3任意一項方法的裝置，其特征在于：包括：飛秒激光器、第一反射鏡、第二反射鏡、第一衰減片、第三反射鏡、一維平移臺、分束鏡、第二衰減片、四分之一波片、第四反射鏡、第五反射鏡、光快門、第六反射鏡、第七反射鏡、第八反射鏡后，產生偏振方向互相垂直的、脈沖延遲在4ps-10ps范圍內的飛秒激光雙脈沖序列，經透鏡聚焦后在待加工金屬材料表面掃描加工即可制備出金屬納米網。