[發明專利]檢測或補正位置系統及其方法

有效

• 申請號: 201610284346.8
• 申請日: 2016-04-29
• 公開（公告）號: CN107340614B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 李茂杉;吳松霖
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種檢測或補正位置系統，其特征在于，包含有：

一基座；

一視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及

一控制單元，其電性連接該視覺測量單元；

其中，該基座承載一待測物，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有一待測點；該檢測或補正位置系統執行一校正程序或一檢測程序；于執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置時，該視覺測量單元擷取一影像信息并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄；于執行該檢測程序時，該控制單元根據該補正值控制該視覺測量單元的位置，

該控制單元具有一演算模塊、一補償模塊與一記錄模塊，該演算模塊接收該影像信息，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，并將該距離傳送給該補償模塊，以產生該補正值，該補償模塊將該補正值傳送給該視覺測量單元與該記錄模塊，該記錄模塊儲存該補正值；該待測物為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一晶體管；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。

2.根據權利要求1所述的檢測或補正位置系統，其特征在于，還包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載臺，該第一移動機構設于該基座并可相對于該待測物于第一方向移動，該第二移動機構設于該第一移動機構，該第二移動機構可相對于該待測物于第二方向移動，該第三移動機構設于該第二移動機構，該第三移動機構可相對于該待測物于第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構電性連接該控制單元；該載臺設于該基座，該載臺供設置該待測物。

3.根據權利要求2所述的檢測或補正位置系統，其特征在于，該視覺測量單元還具有一探針模塊，該探針模塊設于該第三移動機構。

4.根據權利要求2所述的檢測或補正位置系統，其特征在于，該視覺測量單元還具有一視覺擷取模塊，該視覺擷取模塊設于該第三移動機構。

5.根據權利要求4所述的檢測或補正位置系統，其特征在于，還具有一視覺倍增模塊，該視覺倍增模塊設于該第三移動機構。

6.一種檢測或補正位置方法，該方法用于執行一補正程序，其特征在于，該補正程序包含以下步驟：

移動視覺至預定位置，一視覺測量單元設有一定位標記，一待測物具有多個待測點，該待測物設定有多個預定位置，各預定位置具有該待測點；

選定多個預定位置，已選定的各預定位置之間具有一預定距離，該預定距離為多個該預定位置的距離總和；該視覺測量單元隨機移動至任一預定位置的上方，該視覺測量單元擷取該預定位置的待測點與該定位標記的影像信息，該影像信息傳送給一控制單元，以使該控制單元能設該待測點于該定位標記的位置；

選擇最近該定位標記的該待測點，該視覺測量單元擷取一影像信息，該影像信息具有該定位標記與鄰近的該定位標記的該待測點，該影像信息傳送給一控制單元，由控制單元選出最鄰近該定位標記的待測點；

計算該定位標記與該待測點之間的距離，該控制單元依據該影像信息計算出該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，并依該距離產生一補正值；以及

執行記錄及補正，該視覺測量單元依據該補正值進行一位置補正動作，該控制單元記錄該補正值。

7.根據權利要求6所述的檢測或補正位置方法，其特征在于，還包括選擇進行一檢測程序的步驟，該控制單元根據該補正程序產生的補正值控制該視覺測量單元的位置。