[發明專利]檢測或補正位置系統及其方法

有效

• 申請號: 201610284346.8
• 申請日: 2016-04-29
• 公開（公告）號: CN107340614B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 李茂杉;吳松霖
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

本發明公開了一種檢測或補正位置系統及其方法，該檢測或補正位置系統包含有：一基座；一視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及一控制單元，其電性連接該視覺測量單元；其中，該基座承載一待測物，該待測物設有多個待測點；該檢測或補正位置系統執行一校正程序或一檢測程序；于執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置時，該視覺測量單元擷取一影像信息，并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄。

技術領域

本發明涉及一種檢測或補正位置系統及其方法，尤指一種能夠縮短測量時間與提升測量精準度的方法與系統。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(Thin film transistor liquid crystal display，以下簡稱TFT-LCD)已廣泛地應用于人們的日常生活中，TFT-LCD于制造過程中需進行測量，以確認TFT-LCD能夠進行后續的制造過程。

但是，TFT-LCD測量不可避免會有龍門、探針頭或懸臂，或是移動過程中產生有形變，從而造成機構偏移量，使得探針頭尋址時的位置產生異常。進而導致測量的不準確性。

若以人工方式進行探針頭定位，則要對TFT-LCD的各晶體管一一進行定位，方能達到準確性的要求，但人工方式又往往會耗費大量的工時，故如何在一較短時間內提升測量的精準性就有可討論的空間。

發明內容

有鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種檢測或補正位置系統及其方法，其將待測物分為多個預定位置，視覺測量單元測量少量的預定位置，并于每次測量后即進行補正動作，以縮短測量時間，并提升測量的精準度。

為了達到上述目的，本發明提供了一種檢測或補正位置系統，其包含有：

一基座；

一視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及

一控制單元，其電性連接該視覺測量單元；

其中，該基座承載一待測物，該待測物設有多個待測點；該檢測或補正位置系統執行一校正程序或一檢測程序；于執行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置，該視覺測量單元擷取一影像信息并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄；于執行該檢測程序時，該控制單元根據該補正值控制該視覺測量單元的位置。

于一實施例中，該控制單元具有一演算模塊、一補償模塊與一記錄模塊，該演算單元接收該影像信息，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，并將該距離傳送給該補償模塊，以產生該補正值，該補償模塊將該補正值傳送給該視覺測量單元與該記錄模塊，該記錄模塊儲存該補正值；該待測物為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一晶體管；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。

于一實施例中，檢測或補正位置系統還包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載臺，該第一移動機構設于該基座并可相對于該待測物于第一方向移動，該第二移動機構設于該第一移動機構，該第二移動機構可相對于該待測物于第二方向移動，該第三移動機構設于該第二移動機構，該第三移動機構可相對于該待測物于第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構電性連接該控制單元；該載臺設于該基座，該載臺供該待測物設置。

于一實施例中，該視覺測量單元還具有一探針模塊，該探針模塊設于該第三移動機構。