[發(fā)明專利]超聲波鍍錫裝置及鍍錫方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110617065.0
• 申請日: 2021-06-03
• 公開（公告）號: CN113186478B
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張曹
• 申請（專利權(quán)）人: 常州井芯半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C2/08
• 分類號: C23C2/08;C23C2/22
• 代理公司: 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105
• 代理人: 于雅潔

1.一種超聲波鍍錫裝置，其特征在于，包括：封閉式錫槽、超聲波振動裝置和錫泵；

所述封閉式錫槽包括腔體和可開合門，所述腔體內(nèi)具有第一腔室、第二腔室，所述第二腔室上方設(shè)有開口，所述可開合門設(shè)置于所述開口且能夠打開或者封閉所述開口，所述第一腔室與所述第二腔室連通，所述錫泵用于從所述第一腔室向所述第二腔室泵送錫液，所述超聲波振動裝置設(shè)置于所述腔體且用于向所述第二腔室內(nèi)的錫液傳遞超聲波能量；

所述超聲波鍍錫裝置還包括刮錫裝置，所述刮錫裝置設(shè)置于所述第二腔室，所述刮錫裝置用于將所述第二腔室內(nèi)的錫渣刮除；

所述封閉式錫槽還包括分隔板，所述分隔板將所述腔體內(nèi)的空間分隔成所述第一腔室和所述第二腔室，所述錫泵在所述分隔板下方將錫液泵送至所述第二腔室，所述刮錫裝置在所述分隔板上方將錫渣從所述第二腔室推送至所述第一腔室；

所述超聲波振動裝置包括振動頭、多個換能器和多個變幅桿，每個換能器對應(yīng)連接有一個所述變幅桿，多個所述變幅桿連接于所述振動頭，所述振動頭連接于所述腔體且伸入所述第二腔室內(nèi)；

所述振動頭的頂部距離所述第二腔室內(nèi)的錫液的液面的間距為1-50mm；

所述超聲波鍍錫裝置還包括升降裝置，所述升降裝置處于所述封閉式錫槽的外側(cè)且位于所述開口的上方，所述升降裝置用于帶動端子伸入所述第二腔室；

所述超聲波振動裝置的超聲鍍錫面積的長寬尺寸大于50mm×50mm；

超聲波鍍錫裝置所配套的鍍錫方法的完整流程如下：錫泵工作并鼓錫，將錫液泵送至第二腔室至液面高過分隔板；刮錫裝置左右或者前后移動，將超聲波振動裝置上方的錫氧化渣刮除到第一腔室；錫泵停止，第二腔室錫液在重力作用下恢復(fù)原有高度，此時，第二腔室的錫液表面無錫氧化渣；打開可開合門，升降裝置下降至指定高度，以將端子浸入錫液，此時，超聲波振動裝置工作以將端子的氧化膜去除，完成上錫；升降裝置上升，可開合門關(guān)閉，整個鍍錫工作結(jié)束。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波鍍錫裝置，其特征在于，所述第一腔室和所述第二腔室內(nèi)充有保護(hù)氣體。

3.一種鍍錫方法，其特征在于，使用了權(quán)利要求1或2所述的超聲波鍍錫裝置，該方法包括：

所述錫泵將所述第一腔室內(nèi)的錫液泵送至所述第二腔室且使得所述超聲波振動裝置被錫液淹沒；

打開所述可開合門，放入端子并將端子進(jìn)入錫液；

超聲波振動裝置工作。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍錫方法，其特征在于，所述超聲波鍍錫裝置還包括刮錫裝置，所述方法還包括刮錫步驟：

在所述錫泵向所述第二腔室送入錫液后，在打開所述可開合門之前，所述刮錫裝置將所述超聲波振動裝置上方的錫渣刮除。