[發明專利]用于脈沖激光沉積的裝置

在審

• 申請號: 202110616590.0
• 申請日: 2021-06-03
• 公開（公告）號: CN113755799A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: K·H·A·玻姆;W·C·L·霍普曼;J·M·德克斯;J·A·揚森斯;B·貝倫巴克;T·B·H·特布赫斯特
• 申請（專利權）人: 索爾瑪特斯有限責任公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 許劍樺

1.一種用于脈沖激光沉積的裝置，所述裝置包括具有基板表面的基板和具有靶表面的靶，所述裝置還包括：

-基板保持器，用于保持基板；

-靶保持器，用于保持靶，其中，所述靶表面面對基板表面；

-速度過濾器，所述速度過濾器布置在基板保持器和靶保持器之間，所述速度過濾器包括大致盤形的旋轉本體，所述旋轉本體具有旋轉軸線，并具有至少一個過濾器通道開口，所述過濾器通道開口從旋轉本體的一個軸向表面延伸至另一軸向表面；以及

-脈沖激光，脈沖激光在靶點處引導至靶上，用于產生靶材料的等離子體羽流，其中，在靶點處的靶表面面對基板表面，

其中，當沿與靶點處的靶表面垂直的方向看時，所述至少一個過濾器通道開口的通路與靶點重合，

其特征在于：

至少一個過濾器通道開口沿平行于旋轉本體的旋轉軸線的方向從靶至基板漸縮。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中：相對于旋轉本體的旋轉軸線，過濾器通道開口沿旋轉本體的旋轉方向的上游壁部分的錐角小于過濾器通道開口的下游壁部分的錐角。

3.根據權利要求2所述的裝置，其中：上游壁部分的錐角在35°和55°之間，優選是45°。

4.根據權利要求2或3所述的裝置，其中：下游壁部分的錐角在上游壁部分的錐角和65°之間，優選是在55°與65°之間，且更優選是58.5°。

5.根據前述任意一項權利要求所述的裝置，其中：漸縮的至少一個過濾器通道開口的長度是至少20mm，優選是至少32mm。

6.根據前述任意一項權利要求所述的裝置，其中：當沿旋轉軸線的方向看時，過濾器通道開口具有基本矩形的橫截面。

7.根據前述任意一項權利要求所述的裝置，其中：所述至少一個過濾器通道開口設置為沿所述大致盤形的旋轉本體的周向壁的槽道。

8.根據前述任意一項權利要求所述的裝置，其中：旋轉本體設置有至少兩個過濾器通道開口，所述至少兩個過濾器通道開口在離旋轉軸線相同的徑向距離處，其中，所述至少兩個過濾器通道開口沿旋轉本體的周邊均勻地分布。

9.根據前述任意一項權利要求所述的裝置，其中：對于所述至少一個過濾器通道開口中的每一個，激光通道開口設置在旋轉本體中，激光通道開口布置在延伸于旋轉軸線和相應過濾器通道開口之間的徑向線上。