[發明專利]一種空心陰極陣列放電射流裝置

有效

• 申請號: 202110614563.X
• 申請日: 2021-06-02
• 公開（公告）號: CN113198404B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 黃世龍;劉云鵬
• 申請（專利權）人: 華北電力大學（保定）
• 主分類號: B01J19/08
• 分類號: B01J19/08
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 李興林

1.一種空心陰極陣列放電射流裝置，其特征在于：包括空心陰極陣列電極放電發生裝置和輝光射流發生裝置；

所述空心陰極陣列電極放電發生裝置包括高壓直流電源(3)和空心陰極陣列電極(2)，所述高壓直流電源(3)與所述空心陰極陣列電極(2)供電，以形成所述空心陰極陣列電極(2)的供電回路電路連接結構，使所述空心陰極陣列電極(2)的陰極側產生陰極側輝光放電區(4)；

所述輝光射流發生裝置包括高壓供氣腔(1)，低壓工作腔(5)，負壓產生裝置(7)和輝光射流區控制裝置；以用于在所述空心陰極陣列電極(2)的電極陽極側產生可控的輝光射流區(6)；

所述高壓供氣腔(1)設有可調氣阻(8)和電極陰極側連接口，所述可調氣阻(8)用于調節大氣進入所述高壓供氣腔(1)的氣阻，所述電極陰極側連接口與所述空心陰極陣列電極(2)的電極底襯(9)的外壁密封連接，使所述空心陰極陣列電極(2)的陰極側位于所述高壓供氣腔(1)內；

所述低壓工作腔(5)設有電極陽極側連接口和進料口密封門；

所述低壓工作腔(5)通過負壓管與負壓產生裝置(7)連接，以用于在所述低壓工作腔(5)內產生負壓；

所述電極陽極側連接口與所述空心陰極陣列電極(2)的電極底襯(9)的外壁密封連接，使所述空心陰極陣列電極(2)的陽極側位于所述低壓工作腔(5)內；所述進料口密封門用于向所述低壓工作腔(5)置入或取出待處理材料，所述進料口密封門與所述低壓工作腔(5)腔壁之間設有密封連接結構，以保持所述低壓工作腔(5)的空氣密封；

所述輝光射流區控制裝置包括壓力變送器PT，壓力調節閥PV和壓力調節器PC；所述壓力變送器PT用于檢測所述高壓供氣腔(1)內的絕對氣壓，所述壓力調節閥PV安裝在所述負壓管上，所述壓力調節器PC用于接收所述壓力變送器PT所檢測的所述高壓供氣腔(1)內的絕對氣壓信號，并輸出控制信號控制所述壓力調節閥PV的開度，以使所述高壓供氣腔(1)內保持給定氣壓；

壓力調節器PC使所述高壓供氣腔(1)絕對氣壓控制在35mbar～75mbar之間；

高壓直流電源(3)調節供電電壓范圍為100～400V；在所述高壓供氣腔(1)內空氣流經陰極孔(10)至所述低壓工作腔(5)的過程中，所述可調氣阻(8)控制所述陰極孔(10)的氣流范圍為30～55m/s，以使輝光射流區（ 6） 射流長度為8cm～9cm。

2.根據權利要求1所述的一種空心陰極陣列放電射流裝置，其特征在于：所述負壓產生裝置(7)為真空泵。

3.根據權利要求1所述的一種空心陰極陣列放電射流裝置，其特征在于：所述輝光射流區控制裝置中壓力調節器PC采用可編程控制器PLC。